不同材料滤片对13~43 nm高次谐波的抑制

国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线(U27)的SGM分支是专门为光学元件性能测试和探测器定标而建造的。为了能够精确测量光学元件在极紫外和软X射线波段的性能,必须充分抑制高次谐波提高光谱纯度。对于已经建成的光束线,要改变光学设计和现有结构来抑制高次谐波是困难的,最简单且有效的方法是用不同材料的滤片来抑制不同波段的高次谐波。为了研究高次谐波的抑制效果,可将840 l/mm透射光栅放在U27光束线SGM分支的出射狭缝后面色散出射光,用探测器做角度扫描记录下信号强度曲线,然后分析得到高次谐波的含量和分布。本文分别研究了不同厚度的Al(200、400和600 nm)、Si₃N₄/Mo/Si, Si₃N₄/Mo/Si/Mo/Si多层膜滤片(100/50/200 nm, 100/50/150/150/250 nm)和Al/Mg/Al 滤片对13~43 nm光谱高次谐波的抑制效果。 研究结果显示,400 nm厚的Al滤片适合于17~33 nm光谱高次谐波的抑制,在保证探测器信号强度的条件下,高次谐波信号强度占探测器信号强度的比例＜2％,经探测器量子效率修正后,高次谐波比例＜0.6％。Si₃N₄/Mo/Si/Mo/Si多层膜滤片可以有效地抑制13~19 nm的高次谐波,Al/Mg/Al滤片对30~43 nm的高次谐波有很好的抑制作用。这一结果为光学元件的透射率、反射率和探测器精确定标奠定了基础。     

极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件

研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片。基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜。利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征,利用德国BESSY-II同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试。测量结果表明,在13~19 nm波段,s偏振分量的反射率高于15％;在15~17 nm波段,获得了37％的反射率。宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件,在13.8~15.5 nm波段,宽带透射相移片的平均相移为41.7°。采用所研制的宽带多层膜相移片与检偏器,建立了宽带偏振分析系统,并对BESSY-II的UE56/1 PGM1光束线的偏振特性进行了系统研究。这种宽带多层膜偏振光学元件可以极大地简化极紫外偏振测量。     

SU-8 紫外深度光刻的误差及修正

在深紫外LIGA加工中,制作高精度大高宽比的微器件是很困难的。难点在于SU-8 光刻胶对紫外光的吸收系数随着波长变短而很快变大,而且其穿透深度也相应迅速变小;同时由于紫外光的衍射效应,获得高精度的大高宽比结构并不容易。本文深入研究了影响紫外深度光刻图形转移精度的如下因素:衍射效应、曝光剂量、紫外光波长和蝇眼透镜的分布等等。建立了基于模型区域的校正系统,该校正系统采用了分类分区域的思想将掩模图形按其畸变的特点进行了分类,在校正过程中对不同的类别分别建立校正区域,在每一校正区域内进行校正优化处理和校正评价,这种基于模型的分类分区域评价思想,使得校正过程有效且实时,该校正方法不仅降低了校正的复杂性,同时提高了校正的效率。     

悬线有夹角的三维悬线式蓝光光学头力矩器的仿真研究

对具有聚焦、循迹和倾斜补偿功能的悬线带夹角的三个运动自由度的蓝光光学头三维悬线式力矩器建立了模型,以有限元作为分析手段,分析了其空间磁场和受力情况。模态分析得到力矩器循迹、聚焦和倾斜三个模态分别为50.470Hz、54.754Hz和205.23Hz,分别与实验比较误差小于1%。等效阻尼系统来模拟阻尼胶的阻尼效果,谐响应分析得到力矩器的特性曲线多普勒曲线。通过与实验比较,所建立的模型能够真实地反映该力矩器的特性。     

引线成形中劈刀反向运动对引线影响的研究

利用视频图像序列,获得劈刀的运动轨迹,针对劈刀运动可以视为在某一平面内平移运动和绕第一焊点做圆周运动的组合,将劈刀反向段运动分解为切向运动和法向运动。采用点到弦距离累积法计算平均曲率来描述引线弯曲特征,以及计算各时刻引线的长度、旋转角和角加速度,通过分析法向运动与引线弯曲度、线长变化关系,切向运动与引线旋转角和角加速度变化关系,结果得出了劈刀反向段运动对引线轮廓的影响规律,该方法为进一步研究劈刀和引线的动态特性提供了有价值的参考。     

使用波分复用技术构建千兆数据传输网

2009年3月15日,作为垦区有线数字电视建设试点单位,建三江分局正式启动了数字电视整体平移工程。在逐步推进数字电视平移和发展的同时,建三江广播电视局还希望开展双向业务,为用户提供宽带服务或其它数据传输业务。最终将建三江数字电视传送网系统建设成为一个不仅能满足现有数字电视传输要求的二级光纤网络,还能实现千兆数据传输功能的多功能传输平台,成为一个能满足当前和未来需求的综合业务网络。     

绘制饲料生产工艺流程图软件的设计

介绍应用ＡｕｔｏＣＡＤ绘图软件的二次开发工具ＡＤＳ，开发绘制饲料生产工艺流程图软件的设计原理和方法，该软件充分利用了ＡｕｔｏＣＡＤ提供的下拉菜单和对话框技术，使其操作使用简便易学。     

国产溅射离子泵主要性能测试及现状

在相同的条件下使用同一套测试装置,按照国家机械行业标准JB/T2965-92的要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家提供的商用溅射离子泵进行性能测试,列出并分析测试结果,使大家对国产溅射离子泵目前的状况有所认识,同时期待国内真空泵厂能够与时俱进,进一步改进和提高溅射离子泵性能以满足国内科技发展的需要.     

软X射线透射光栅支撑结构的制作工艺研究

在简述软X射线的自支撑透射光栅制作工艺的基础上,重点研究支撑结构制作中的紫外光刻和电镀两步工艺,紫外光刻中的菲涅耳衍射会造成光刻胶不能显影到底或起保护作用的光刻胶面积减小,厚度减薄,比较了两个不同电镀条件下的电镀实验结果,结果表明低的温度和电流密度（40℃,1.5mA/cm^2)下的镀膜致密,光滑,应力小,对光栅结构无任何影响,高的温度和电流密度（47℃,5.6mA/cm^2)下的镀膜相对粗糙,应力大,造成光栅线条的扭曲,并拢,甚至拉断光栅线条。     

吉林省2014年旱情及抗旱工作情况

2014年春季和初夏,吉林省降雨偏多,粮食作物长势好于常年,形势喜人。但是7月下旬以后,部分地区持续高温少雨,部分县市旱情迅速发展并持续加重。简述了吉林省7月开始的旱情及采取的抗旱行动,分析存在的问题,总结了抗旱工作主要经验,提出了加快农田水利工程建设、加大应急抗旱水源工程建设力度等对策建议。