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衬底基片的化学机械抛光(CMP)同时兼顾材料去除率及衬底表面质量,在抛光过程中,化学作用与机械作用相辅相成同时参与抛光,化学作用与机械作用的平衡对能否得到满意的衬底表面有重要有意义。针对蓝宝石衬底基片的CMP材料去除率进行了研究,分析了材料去除机理。使用单因素实验法测得:压力的增加会导致材料去除率的增加,但当压力增加到某一点后,材料去除率的增加反而减缓,与此同时衬底基片表面粗糙度达到最小。这一点附近的抛光参数可以达到机械与化学作用的平衡。在实验中,当抛光压力为6kg时材料去除率达到80nm/min,表面粗糙度达到0.2nm。 相似文献
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对某气化炉烧嘴冷却水缓冲罐进行定期检修,发现与缓冲罐筒体连接的不锈钢接管发生了开裂。通过观察裂纹扩展方向、检测接管材质和服役介质化学成分及分析接管微观组织,揭示了该不锈钢接管出现开裂的具体原因。研究发现,沿着接管的径向裂纹启裂于接管内表面,沿着接管的轴向裂纹启裂于接管/缓冲罐筒体焊接接头热影响区;微观组织分析发现失效接管呈沿晶开裂特征;不锈钢接管服役介质中存在一定量Cl-,接管开裂区域组织晶界上分布有较多C;S含量超标、不锈钢接管/缓冲罐筒体焊接工艺不当和应力腐蚀是引起开裂的重要原因。该研究揭示了气化炉烧嘴冷却水缓冲罐不锈钢接管开裂失效的具体原因,这为该类设备的制造和返修提供了一定的指导作用,同时也为企业排除了重大安全隐患。 相似文献
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通过焊接热影响区最高硬度试验、斜Y形坡口焊接裂纹试验、典型对接接头性能评价试验及典型对接接头疲劳性能试验,结合金相显微镜(optical microscope,OM)和扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)两种表征手段,深入研究了新型低锰微铌钢(MnNb钢)与普通Q355钢(Q355钢)焊接性能差异及机理。结果表明,在不预热条件下,Q355钢表现出强烈的焊接淬硬倾向,而MnNb钢无淬硬倾向;MnNb钢和Q355钢均具备优良的防止焊接冷裂纹性能。相比于Q355钢接头,Mn Nb钢对接接头抗拉强度稍低,但其热影响区冲击吸收能量明显更优,这主要是由于Q355钢粗晶区中存在细小的晶内组织和侧板条铁素体组织,而MnNb钢粗晶区具有大量针状铁素体与较小的原始奥氏体晶粒。MnNb钢接头的条件疲劳极限强度比Q355钢接头高57 MPa,其扩展区疲劳辉纹间距更小,裂纹扩展速度更慢,MnNb钢对接接头的疲劳性能显著优于Q355钢对接接头。 相似文献
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采用文献计量方法,以Web of Science(WOS)核心合集数据库为数据来源,运用基于R的Bibliometrix程序包对国外保障性住房研究领域进行可视化分析。研究发现,该领域论文发表数量呈现波动式增长,发文国家与研究机构均以发达国家为主,发表期刊多属于城市研究、环境科学等领域。高产作者关注保障性住房居民的健康问题、住房环境的影响及保障性住房税收相关政策。高频关键词及战略坐标显示,住房环境、满意度、健康行为等是目前的研究热点。未来研究可以考虑基于东西方文化背景展开保障性住房研究领域的跨文化比较,为推动我国保障性住房的发展与研究提供参考。 相似文献
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通过化学机械抛光获得的超精密蓝宝石表面存在一定厚度的表面损伤层,直接制约蓝宝石元件性能的提升。为降低蓝宝石表层损伤层,研究了蓝宝石超精密抛光表面的热修复工艺。对超精密加工后蓝宝石进行热修复处理,分析了热修复对不同晶面蓝宝石表面微观形貌的影响规律。结合蓝宝石各个晶面原子排布规律,蓝宝石C面的晶层间距最大,相比其他晶面,C面蓝宝石的超精密抛光表面更易形成台阶结构;热修复后,A面、R面蓝宝石微观表面都呈现出有序分布的台阶状结构,M面蓝宝石表面形成薄片状微观结构;在热场作用下,蓝宝石表面原子发生移动,形成台阶状形貌;纳米压痕结果表明热修复后各个晶面蓝宝石的硬度和弹性模量都有一定程度增加;通过聚焦离子束定向提取热修复前后的R面蓝宝石表层纳米厚度的薄片,并在透射显微镜下观测其高分辨原子衍射图像,证实了热修复工艺使表层原子排布由非晶态向晶体有序化转变,同时表面微观形貌也出现了规律性特征,从而使加工表面晶格完整性提升。研究结果表明热修复能有效用于蓝宝石表层质量的提升。 相似文献