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采用电化学电容-电压(ECV)法对等离子体掺杂制备的Si超浅p n结进行了电学表征.通过对超浅p n结样品ECV测试和二次离子质谱(SIMS)测试及比较,发现用ECV测试获得的p 层杂质浓度分布及结深与SIMS测试结果具有良好的一致性,但ECV测试下层轻掺杂n型衬底杂质浓度受上层高浓度掺杂影响很大.ECV测试具有良好的可控性与重复性.对不同退火方法等离子体掺杂形成的超浅结样品的ECV系列测试结果表明,ECV能可靠地表征结深达10nm,杂质浓度达1021cm-3量级的Si超浅结样品,其深度分辨率可达纳米量级,它有望在亚65nm节点CMOS器件的超浅结表征中获得应用. 相似文献
62.
63.
TD-SCDMA作为目前我国可能采用的3G标准中唯一的TDD双工方式标准,上下行使用同样的载频无需成对频段,容易获得频率资源,其目标是要建立一个具有高频谱效率和高经济效益的先进移动通信系统。因此,TD—SCDMA综合了FDMA、TDMA、CDMA和TDD模式下的智能天线、联合检测、动态信道分配等先进技术,期望提供业务和无线资源的最佳适配,提高频率效率。 相似文献
64.
65.
中段目标进动雷达特征提取 总被引:1,自引:0,他引:1
本文总结了弹道导弹目标雷达识别的研究现状,推导了进动锥体目标对雷达波的姿态角计算公式,分析了目标RCS和姿态角的关系,使用进动锥体目标的RCS时间序列估计了目标进动参数和惯量比,使用惯量比作为特征,提出了识别弹头和诱饵的方法,最后给出了仿真结果。 相似文献
66.
增值业务综合管理平台设计 总被引:1,自引:0,他引:1
概述目前,传统的普通数据、语音业务的业务量都在平稳增长,但由于激烈的竞争,“增量不增收”的现象开始出现。由于增值业务具有较好的收益,并且成本回收的周期也比较短,因此为了更好地提高收入水平,运营商必须加大数据、固定业务的增值业务开展,具体业务种类如下: 相似文献
67.
在实验上,以Cr 相似文献
68.
通过某牵引拖挂装车式陆用火控雷达跑车试验,进行振动数据采集分析和处理得到垂直,纵向,横向三个方向的振动和加速度功率谱密度曲线,将之与美军标MIL.STD.810E与国军标GJB150中振动试验和加速度谱密度曲线进行比较,和工程实践对照,拓展形成一组更加符合实际条件且在实验室再现的功率谱密度曲线,并推荐将这组曲线作为陆用拖车载设备的振动试验条件。 相似文献
69.
70.