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目前LSI正在逐年地向高密度化发展,它为电子学的发展做出了巨大的贡献。其生产的主要关键是微细加工技术,它要求尽可能地按照由投影和缩小曝光等方法所形成的微细抗蚀剂图形进行腐蚀。以往的等离子腐蚀由于各向同性而产生钻蚀,故难以实现微细化。因此,迫切希望一种不产生钻蚀的各向异性腐蚀技术。这种各向异性腐蚀是利用电场加速CF_4等反应性气体等离子体中的离子,使其具有方向性并利用它们对样品(硅片)进行冲击而实现的。此方法的大部分过程都可用平行板辉光放电装置来进行,目前在批量生产线中已陆续被采用。当然,电化学反应(ECR)放电形式也是今后必须注意的一种方法。 相似文献
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锗烷的分解爆炸──爆炸火焰的传播及爆炸极限压力堀口贞兹,近藤重雄,浦野洋吉1序言在半导体工业中,使用的气体种类很多,其中有的气体毒性和爆炸危险性很高,处理时必须注意。锗烷(GeH4)是其中的一种。在硅系半导体制造中,它被用于CVD过程、外延过程、扩散... 相似文献
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一、绪言在铜电解中的一次、二次脱铜用不溶阳极材料,以前一直是以Pb—Sb或Pb—Sb—Ag为主。于1965年开始生产的本厂电解车间,最初主要是使用含Sb5%的Pb—Sb合金阳极。这种阳极虽然制作容易,但其表面的铅氧化皮(PbO_2) 相似文献
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1.绪言在被服生产中,布片的缝合通常是由针和缝线来完成的。为了提高被服缝制效率和生产能力,缝制工序可采用多种缝纫机,进行布片的缝合、拷边及缝订附属品。为了使服装款式多样化,需采用各种各样的布料,因而就出现了所谓可缝性问题。那么,可缝性到底指的是什么呢?在本学会 相似文献
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通过在离心场中模拟沟槽开挖过程的模型试验,讨论挖掘机等建筑机械在开挖市政管线的沟槽过程中产生的偏心荷载对沟槽稳定性的影响。试验结果表明,沟槽的破坏形态与挖掘机中心荷载作用情况下相同。据此,可利用在中心荷载作用下求得的开挖深度极限分析上限解简化式,计算建筑机械偏心荷载作用下的沟槽开挖深度,并且所得计算结果与试验结果基本吻合。结果表明:偏心距对开挖深度的影响程度因挖掘机接触压力不同而不同。挖掘机接触压力越大,偏心距对开挖深度的影响也越大。 相似文献
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车用轻烃油和油公核磁共振传递剂 总被引:2,自引:0,他引:2
堀尾忠正 《能源技术(上海)》2002,23(4)
介绍了轻烃的特征 ,及它作为汽车燃料与其它各种车用替代燃料如天然气、乙醇汽油等进行了比较。说明它具有一系列优点 ,是一种有发展前景的车用替代燃料。同时还介绍了一种新型的燃油添加剂———油公核磁共振传递剂与它的特征、机理以及在轻烃汽车和其它车辆中的应用效果 ,特别是节能、环保效果 相似文献