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Several μ-bridge structures for InP-based heterojunction bipolar transistors (HBTs) are reported. The radio frequency measurement results of these InP HBTs are compared with each other. The comparison shows that μ-bridge structures reduce the parasites and double p-bridge structures have a better effect. Due to the utilization of the double/~-bridges, both the cutoff frequency fτ and also the maximum oscillation frequency fτ of the 2 × 12.5 μm2 InP/InGaAs HBT reach nearly 160 GHz. The results also show that the μ-bridge has a better effect in increasing the high frequency performance of a narrow emitter InP HBT. 相似文献
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采用泊松方程-薛定谔方程-流体力学方程组自洽求解的方法,对偏栅AlGaN/GaN HEMT器件的电学特性进行了二维模拟。通过与传统正栅器件的模拟结果对比分析,可以看出,偏栅结构除了可以提高器件的击穿电压外,还可以提高直流输出电流和跨导,对输出特性和转移特性均有一定的提高。 相似文献
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针对末端物流中配送车辆多趟次运输、客户对配送服务时间的多样化需求,研究多车程多时间窗车辆路径问题。构造该问题的最小化车辆数量和总运输成本的双目标混合整数规划模型,设计改进的自适应大邻域搜索算法对其求解;构建了基于路径、车程及客户点3个层级上的多种高效的破坏算子和修复算子来扩大解的搜索空间;使用自适应策略选择高效的搜索算子,以及引入模拟退火新解接受准则避免陷入局部最优解来提高搜索效率。通过多种规模算例实验结果分析,验证了改进的自适应大邻域搜索算法的优越性,并分析了考虑多车程的模型对总运输成本的影响。 相似文献
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目前,视频序列中的车辆运动检测是图像处理领域中最重要的研究课题之一。它的核心内容是应用图像处理技术从包含车辆信息的图像序列中检测车辆、提取车辆特征和状态、并预测和跟踪车辆的轨迹。车辆的运动检测系统一般包含运动检测、车辆提取、车辆跟踪。从这三个方面回顾车辆运动检测技术目前的发展水平和常用的处理方法,分析研究难点和未来的发展趋势。 相似文献
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Cu互连线显微结构和应力的AFM及SNAM分析 总被引:1,自引:0,他引:1
在ULSI中采用Cu互连线代替Al以增加电子器件的传输速度和提高器件的可靠性,Cu的激活能约为1.2eV,而Al的激活能约为0.7eV,Cu互连线寿命约为Al的3-5倍。Cu大马士革互连线的制备工艺为:在硅衬底上热氧化生成的SiO2上开出凹槽,在凹槽中先后沉积阻挡层Ta和晶种层Cu,然后由电镀的Cu层将凹槽填满,最后采用化学机械抛光将凹槽外多余的Cu研磨掉,Cu互连线的尺寸为:200um长,0.5μm厚,宽度分别为0.35,0.5,1至3μm不等,部分样品分别在200℃,300℃和450℃下经过30min退火。利用原子力显微镜(AFM)和扫描近场声学显微镜(SNAM),同时获得形貌像和声像,分别了Cu大马士革凹槽构造引起的机械应力和沉积引起的热应力对Cu互连线显微结构及可靠性的影响,SNAM是在Topometrix公司AFM基础上建造的实验装置,实验采用的机械振动频率在600Hz-100kHz之间。分析测试结果如下:1.AFM和SNAM可以实现对微米和亚微米特征尺寸的Cu互连线的局域应力分布和显微结构的原位分析。2.采用AFM,TEM、XRD观察和测试了Cu互连线的晶体结构,分析了大马士革凹槽工艺 对Cu晶粒尺寸及取向的影响。平坦的沉积态Cu膜的晶粒尺寸约为100nm;而由大马士革工艺制备的凹槽中的Cu互连线的晶粒尺寸约为70-80nm,凹槽结构抑制了晶粒生长,平坦的沉积态Cu膜有较强的(111)织构;而凹槽中的Cu互连线的(111)织构减弱,(200)和其它的晶体取向分量增强。3.SNAM声阻尼信号对材料局域应力的变化敏感,SNAM声图衬底可显示出局域应力的分布,在沉积态的Cu互连线声图中,金属和SiO2介电层的界面处像衬度强,表明该处为应力较高的区域,而在退火后的Cu互连线的声图中,金属和SiO2介电层的界面处像衬度弱,表明退火后该处应力减小,我们对Cu膜进行了宏观应力的测试,退火后应力值从沉积态的661MPa减少至359Mpa,这与SNAM声成像的结果相符合。 相似文献
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