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结合机械故障信息监测的需求,将微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中,介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以小变形-大应力为敏感结构设计思路,研制了梁膜结构、孔缝双桥结构以及复合多梁结构3种高频加速度传感器,以满足高速制造装备的振动信号监测对传感器的需求。通过静态、动态性能测试实验可以看出,3种结构均在一定程度上提升了传感器的测量性能,实际测振实验也说明所研制的MEMS加速度传感器具备了装备振动信号检测所需的功能。具有微型化、低成本以及可大规模生产潜力的MEMS传感器的发展为高端机械制造装备的发展提供了新的器件支持,推动主轴部件等的智能化、一体化发展。 相似文献
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基于三角模糊数的多目标群决策方法 总被引:2,自引:0,他引:2
多目标群决策因其决策目标的复杂性和模糊性以及评价标准不一的特点使得决策难度较大。通常采用的模糊方法采用评定范围的划分都具有连续性,相邻范围间有着明显的界限,这对实际问题的描述有其局限性。采用非连续方法设定评定范围而确定评价程度,并提出一种三角模糊数重心法对模糊数排序,最后通过实例验证其有效性。 相似文献