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低温APCVD法制备氮化硅薄膜 总被引:7,自引:0,他引:7
本实验用常压化学气相沉积法(APCVD)在平玻璃基板上沉积了氮化硅薄膜,研究了基板温度、反应气体比例,热处理等对氮化硅薄膜制备的影响,发现在700℃以下,NH3/SiH4流量比例为15/1时制得较纯的氮化硅薄膜,比常规APCVD法制备温度低大约150℃。 相似文献
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针对国内巨大的航空货运市场和对航空应急救援国产装备保障能力的提升,提出一款服务于机场、能够实现多用途的举升平台。在结构设计的基础上将举升部分作为主要研究对象进行优化设计,采用对称驱动的剪式升降结构作为其举升机构,利用虚拟样机技术建立剪式举升架的参数化模型,优化目标确定为液压油缸最大推力最小,优化对象为主要铰接点位置,优化后液压油缸最大推力减小了28.4%,且径向速度波动幅度较优化前明显减小,优化效果明显。利用有限元分析软件ANSYS,对最危险时刻的主要受力部件进行了强度校核,分析得到部件结构合理、安全可靠,可以为实物的生产提供理论支撑。 相似文献
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泡沫玻璃外墙外保温体系应用研究 总被引:4,自引:0,他引:4
孟祥森 《保温材料与节能技术》2006,(5):1-3
介绍了一种新型的保温体系一以泡沫玻璃作为主要保温材料的外墙外保温体系,并对该体系的构成及性能特点进行了研究,同时对其施工工艺和在建筑节能领域的应用前景也作了阐述。 相似文献
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