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由于传统加工方法不能解决PMMA微流道的加工质量不好和效率低的问题,本文对超快激光直写PMMA制备微流道的烧蚀机理和工艺参数进行了研究。根据实验分析不同的激光功率、加工速度和加工次数对微流道的宽度和横截面的影响规律,利用超快激光加工系统制备微流道,并采用超景深三维显微镜观测微流道的表面形貌。实验结果表明,当超快激光的加工速度为20 mm/s时,激光功率为1.5 W时,制备的微流道的宽度较小、宽度趋势比较平稳;当超快激光作用PMMA的次数一样,由于加工速度逐渐增加,制备的微流道其宽度和激光的加工速度保持线性增加。当加工速度越大时,微流道的宽度较小、且壁面趋势相对平缓,而当加工速度一定,超快激光的输出功率在1.5 W时,微流道内壁区域不易出现残渣堆积和气泡隆起现象。本文通过优化超快激光加工系统的工艺参数,从而加工出尺寸精度高、表面光滑、宽度为20~90 μm的微流道芯片。 相似文献
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针对超短激光辐照单晶硅材料制备光栅结构存在表面裂纹的缺陷,采用双温模型数值模拟出热积累效应,并且实验验证不同加工参数下制备的单晶硅表面光栅结构的表面质量。数值模拟出不同超短激光功率下电子温度和晶格温度的变化规律,通过调节不同的加工参数制备出单晶硅表面光栅结构沟槽,采用超景深三维显微镜对其表面形貌分析。结果表明:当超短激光的输出功率增大时,激光热驰豫时间变大,增大了非平衡状态下激光的烧蚀强度。单晶硅表面的不平整凹坑造成超短激光的反射和散射,从而使得烧蚀后存在凹坑,造成单晶硅表面的损伤溶蚀。当加工速度和加工次数一定时,增大激光的输出功率可以提高超短激光制备光栅结构的加工效率,但过大的激光功率反而造成光栅结构沟槽两侧出现溶蚀凹坑。 相似文献
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75.
本文通过将经典4-交集矩阵中的区域内部替换为区域外部,使其可以表示RCC5关系。在此基础上定义了4×4交集矩阵,构建了双嵌套区域与简单区域间的拓扑关系模型。给出约束条件,得到双嵌套区域与简单区域间实际存在的53种拓扑关系,给出其关系示意图及概念邻域图,在此基础上建立了拓扑关系的推理系统,给出关系复合表。应用本文所建立的拓扑关系模型,可用于对台风降水区域与指定目标地区的拓扑关系进行定性模拟,对台风及降水的预警机制具有一定的指导意义。 相似文献
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77.
在电子设备的屏蔽箱上开有各种用途的小孔或缝隙,外界的电磁干扰通过孔、缝进入到电子设备的内部,对内部电路造成干扰。从电磁干扰的传播途径出发,对在不同情况下结构缺陷对屏蔽效果的影响进行了分析,并提出了相应的改进措施,对电子设备的工程设计具有一定的指导意义。 相似文献
78.
A new single-mode optoelectronic oscillator (OEO) with three coupled cavities is proposed and demonstrated. A Fabry-Perot (F-P) cavity fiber laser and an optical-electrical feedback branch are coupled together to construct an optoelectronic oscillator, where the F-P cavity fiber laser serves as a light source, and a modulator is placed in the laser cavity to implement reciprocating modulation, which simultaneously splits the laser cavity into two parts and forms a dual-loop configuration. To complete an optoelectronic oscillator, part of optical signal is output from the F-P cavity to implement the feedback modulation, which constructs the third cavity. Since only the oscillation signal satisfies the requirements of all the three cavities, a single-mode oscillation can be finally achieved. Three resonant cavities are successfully designed without adding more optoelectronic devices, and the side-modes can be well suppressed with low cost. The oscillation condition is theoretically analyzed. In the experimental demonstration, a 20 GHz single longitudinal mode microwave signal is successfully obtained. 相似文献
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基于直接数字频率合成(DDS)技术,采用现场可编程门阵列(FPGA),通过对DDS芯片AD9910的控制,实现多通道信号发生器的设计。所设计的信号发生器具有高频率精度、低杂散、捷变频的特点,并可编程调整输出频率值以及多路输出信号之间的相位值。实测结果表明,本文所研究的方法和研制的系统是可行、有效的,具有广阔的应用前景。 相似文献
80.