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目前看来, X 射线光刻技术能否真正应用到 013μm 及 013μm 以下的集成电路工业中去是光刻技术工作者很关心的一个问题。分别从光源、曝光系统、掩模、光刻胶、光刻机、光刻工艺、成本等七个方面对 X 射线光刻技术的现状进行了介绍,并对它的应用前景进行了简要分析。 相似文献
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193nm与x射线光刻技术比较 总被引:2,自引:0,他引:2
分别从光源、照明系统、掩模、光刻胶、光刻机、光刻工艺、成本等七个方面择193nm与x射线光刻技术进行了对比分析,介绍了目前它们的一些进展情况,并对它们的应用前景进行了简要分析。 相似文献
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2010年,随着微波炉能效等级国标出台、发布及实施,微波炉节能方案持续升级。格兰仕12月6日又面向中国市场推出了首台"领袖"光波变频微波炉。"希望广大中国消费者在节能、智能、 相似文献
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宋明轩冯源张甜何凤有高捷 《电气传动》2022,52(21):26-30
针对目前NPC三电平逆变器缺乏实时运行状态检测方法的现状,研究了一种间接检测方法。该方法分析了NPC三电平逆变器的换流过程,根据基尔霍夫定律,建立了三电平回路检测的电流和电压模型。相较于需要大量测量单元的直接测量方法,该方法仅使用3个电流检测单元和3个电压检测单元,就能够获得单相桥臂的4个IGBT和2个钳位二极管的运行状态。通过单相桥臂的脉冲实验对该方法的正确性进行了验证,实验结果表明,该方法可以实时检测NPC三电平逆变器功率器件的运行状态,在方便安装的同时降低了测量成本,对于NPC三电平逆变器的设计应用和故障预防具有一定的参考意义。 相似文献
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以两台变压器并列运行为例,分析了变压器自动投退的技术经济情况。结果表明,在变电站运行过程中自动投切变压器,改变其运行方式,可减少变压器运行损耗,提高经济效益,为优化电网运行提供有效途径。 相似文献
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针对当前可变结构型摩托车头盔存在护颚结构不够合理的问题,开发出一种新型摩托车可变护颚结构头盔,创新地采用双槽轨结合双动钉对头盔护颚的运动进行约束,使护颚顺利地按预定的轨迹完成抬步、爬升、过顶、回落以及收纳贴合盔壳等动作,最终实现了头盔的全盔结构与半盔结构的相互转换。论文对双动钉双轨槽约束机构的轨迹控制方法进行了讨论,给出了它的设计原则及注意事项,由此丰富了摩托车头盔可变结构的实现方案。 相似文献
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以龙潭嘴水电站工程整体水工模型试验资料为依据,采用表孔高低坎+二道坝研究了中型拱坝表孔大单宽流量泄洪消能形式。通过调整边、中表孔挑坎的位置高程及挑角来实现三孔水舌上下对撞和横向扩散碰撞消能。为达到水舌落点纵向拉开的目的,增大中表孔溢流曲线的长度,使中边表孔挑坎在纵向上形成差动。试验结果表明,在该消能形式布置下,水舌纵向拉开、横向扩散充分、对冲明显,同时在水垫塘内充分翻滚消能,对下游河道减轻了冲刷,消能效果较好。 相似文献