真空技术及应用系列讲座 第十一讲:真空材料

东北大学真空工程博士点 ,博士导师杨乃恒先生主持第一讲 :真空科学的发展及其应用李云奇　 95 (2 )……………………………………………………第二讲 :真空物理基础张世伟　 95 (3)…………………………………………………………………第三讲 :机械真空泵 (一 ) (二 ) (三 ) (四 ) (五 ) (六 )张以忱 95 (4)、(5 )、(6 )、96 (1)、(2 )、(3)…………第四讲 :蒸汽流真空泵姚民生　 96 (4)…………………………………………………………………第五讲 :气体捕集式真空泵徐成海　 96 (5 )……………………………………………………………第六讲…     

第十六讲 真空系统的操作与维护

<正>(上接2010年第5期88页)对非自动控制的低温泵抽气系统来说,一般,低温泵的生产商会提供一个再生的参考时间,但由于实际情况的差异,还是要求操作者根据实际经验来判断是否可以结束再生,而一些自     

DZJ—A型全自动真空纸浆模塑制品生产线及工艺的研究

治理白色污染对纸浆模型快餐器具成型设备提出了新的要求,由东北大学开发研制的DZJ－A型纸浆模型快餐器具生产线是一种新型的节能环保生产装置,它具有工艺先进,生产全自动控制的特点,生产线为集成组合式,能耗低,占地面积小。其生产原料为草、蔗、苇及其它二次利用植物纤维、来源丰富,使用后即可以回收利用,又能完全降解,本文对设备的结构和工艺进行了较详细的研究。     

Al含量对非平衡磁控溅射制备Ti1-xAlxN膜性能的影响

将电弧离子镀和中频非平衡磁控溅射工艺相结合制备了Ti1-xAlxN薄膜。利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损仪等分析检测仪器研究了不同Al含量Ti1-xAlxN薄膜的性能。结果表明：随Al含量增加,沉积速率变大;各种Al含量的膜层中都有Ti1-xAlxN相;当x为51at.%时薄膜有最高的显微硬度2741.8HV,此时摩擦系数达到最低值0.14;Al含量多时膜层Ti1-xAlxN表面粗糙;各种Al含量的膜层与基体的结合力大致相同,临界载荷都在16～20N左右。     

第15讲真空工程封接技术

真空封接属于真空连接技术中的永久性连接,真空封接技术常用于某些真空室、真空炉体、真空泵体、真空规的各种电极、引线等零部件的金属材料与玻璃、陶瓷等非金属材料之间的密封连接以及非金属材料之间的密封连接。真空封接连接应满足以下要求:1真空密封;2耐高温(真空系统烘烤、电极加热、引线发热等);3电绝缘性能。1玻璃-玻璃封接在真空技术中有时会用到玻璃与玻璃、石英与石英的封接工艺。在设计和制造玻璃真空系统时,需要考虑系统的玻璃管道封接、管道与真空零件的封接。同种和不同种玻璃材料之间靠熔融过程实现封接,温度应升高到超过玻…     

第十八讲真空蒸发镀膜

另一个问题,就是镀膜材料对蒸发源材料的湿润性问题,它关系到蒸发源形状的选择.多数蒸发材料在蒸发温度时呈熔融状态,它们和蒸发源支持体表面会形成三种不同的接触状态,即湿润、半湿润和不湿润.这是由两种材料间的表面张力的大小决定的.在湿润的情况下,高温熔化的薄膜材料容易在蒸发源材料上展开,蒸发会从较大面积上发生,其蒸发状态稳定,且蒸发材料与支持体间粘着良好,可认为是面蒸发源的蒸发;在湿润小的时候,可认为是点蒸发源的蒸发,这种情况下蒸发材料就容易从蒸发源上掉下来.半湿润情况则介于上述两种情况之间,在高温表面上不呈点状,虽沿表面有扩展倾向、但仅限于较小区域内,薄膜材料熔化后呈凸形分布.润湿状态的几种情况如图8所示.     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2008年第3期第80页) 3.2 机械泵抽气系统清洁真空的获得 油封机械真空泵(简称机械泵)广泛应用于真空系统中,多数作为前级真空泵.由于科学技术的发展,对清洁真空的要求愈来愈普遍.因此机械泵中的油蒸气返油问题便愈来愈受到重视.我们把机械泵油流向高真空端的现象叫做机械泵的返油.     

第二十一讲真空卷绕镀膜

(接2021年第6期88页) 3.4 中频磁控卷绕镀膜 中频磁控卷绕镀膜是利用中频磁控溅射技术来实现卷绕镀膜的方法.中频交流磁控溅射通常采用两个尺寸大小和外形相同的靶并排布置或相对摆放,称为孪生靶.将双极脉冲中频电源的二个输出端连接到二个靶上,如图18所示.     

磁控溅射制备镍薄膜热阻温度传感器工艺研究

利用镍薄膜的温度电阻特性以及磁控溅射镀膜技术设计并制备了薄膜热阻型温度传感器，为了达到较好的工作稳定性，设计了多层的复合膜系。文中分析了沉积薄膜的工作压力、电源功率、靶基距、退火温度、退火时间等制备工艺参数对热阻薄膜特性的影响，以及工艺参数对所沉积的镍薄膜的膜厚均匀度和温度电阻曲线，温度电阻系数等传感特性的影响。通过调整实验的工艺参数，最终得到电阻温度性能较好的镍薄膜温度传感器。测试结果表明薄膜传感器在0-250℃之间温度电阻曲线有较好的线性度和稳定性。     

氮势对奥氏体不锈钢离子渗氮性能的影响

对AIS1304奥氏体不锈钢进行了不同氮势的离子渗氮,利用金相显微镜、轮廓仪、摩擦磨损试验机、X射线衍射仪和显微硬度计测试了经渗氮处理后试样改性层的截面形貌、微观结构、相组成和力学性能,并与未渗氮的试样进行了比较。结果表明：随着氮势的增加,试样表面的渗层深度、磨损程度、显微硬度呈规律性变化;X射线衍射分析表明：低氮势容易形成S相,高氮势有利于氮化物的形成。