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21.
研究了InAs/GaSbⅡ类超晶格的几种台面腐蚀方法.实验所用的InAs/GaSbⅡ类超晶格材料是使用分子束外延设备生长的,材料采用PIN结构,单层结构为8 ML InAs/8 ML GaSb.腐蚀方法分为干法刻蚀和湿法腐蚀两大类.干法刻蚀使用不同的刻蚀气氛,包括甲基、氯基和氩气;湿法化学腐蚀采用了磷酸系和酒石酸酸系的腐蚀液.腐蚀后的材料台阶高度是使用α台阶仪测量,表面形貌通过晶相显微镜和扫描电镜表征.经过对比研究认为,干法刻蚀中甲基气氛刻蚀后的台面平整,侧壁光滑,侧壁角度为约80度,台阶深度易控制,适合深台阶材料制作.湿法腐蚀中磷酸系腐蚀效果好,台面平整,下切小,表面无残留,适用于焦平面红外器件制作工艺. 相似文献
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近年来,随着国家经济的快速发展,对作为主要能源的煤炭的需求量越来越大,矿井的开采程度也不断加深,有越来越多的普通矿井和低瓦斯矿升级为高突瓦斯矿井。根据《煤矿安全规程》的规定:一个矿井中只要有一个煤(岩)层发现瓦斯,该矿井即为瓦斯矿井。根据矿井相对瓦斯涌出量,矿井绝对瓦斯涌出量和瓦斯涌出形式瓦斯矿井分为: 相似文献
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对焊接变形的机理进行了研究,通过焊道清根,调整焊缝小坡口尺寸及焊缝金属填充量,利用焊接应力,产生焊缝反向角变形,达到最终控制焊缝角变形的目的。 相似文献
30.
煤矿用钢丝绳检测检验一般执行MT716—2006验收检验标准和MT717—1997行业标准。在其检测检验过程中,必须对钢丝绳拆股钢丝矫直后才能进行钢丝破断拉力、反复弯曲、扭转等试验。因此,在矫直拆股钢丝过程中,要特别注意钢丝的矫直方法和矫直工具的使用。对拆股钢丝矫直与否的破断拉力进行对比试验,试验结果说明了拆股钢丝矫直的必要性。 相似文献