真空技术和大规模集成电路的发展(一)

集成电路在向高集成度、高性能、高可靠、高生产率的发展过程中对真空技术的依赖日益加深。在大规模集成电路的生产过程中,需要在真空条件或真空设备中进行的工序已占一半以上,而在超大规模集成电路的制备工艺中,则超过75％。研制和生产集成电路的需要不仅推动了传统真空技术的进一步发展,同时刺激了对近代科学技术有深远影响的二个新领域——薄膜技术和表面分析技术——的迅速发展。本文从研究和生产大规模、超大规模集成电路所面临的材料、工艺、薄膜表面和界面问题的角度出发,重点综述与真空科学技术密切相关的、发展集成电路必需的薄膜技术和表面分析技术,以及它们的现状和趋势。主要内容是:一、引言,二、发展大规模集成电路所面临的技术要求,三、薄膜技术(薄膜的沉积生长技术;干法刻蚀;离子轰击效应;薄膜沉积和刻蚀的监测技术),四、表面和界面分析技术。     

FAAS法连续测定电解锰阳极板中银和锑

在电解法制锰时，阳极板中微量元素直接影响板的使用寿命和导电性能，其中主要有银和锑。文中用硝酸和酒石酸的混合酸处理样品￣［１］，在不过滤的情况下直接测定，方法快速简便。通过试样分析及方法检验，结果满意。银和锑的加标回收率分别达１０５％，９８％；标准偏差分别为０．００５６，０．００１３；相对标准偏差分别为２．１％，３．３８％。     

真空技术和大规模集成电路的发展(三)

(三)离子轰击效应离子与固体的相互作用以及离子束技术,在其漫长的研究历史中从来没有达到过现在这样广泛应用的程度。在LSI和VLSI的工艺技术中依靠离子和固体相互作用的设备和技术列于表6。可见,利用离子束作为“刀具”或“工具”几乎可以完成集成电路的各种工艺和工序,因此正在设想和发展在一个离子束装置中连续完成包括薄膜制备、微细加工以及随时、“就地”的质量检测和监控的制造集成电路的技术。不少人认为,如果这种“全离子”加工技术获得成功,那么将成为集成电路发展的又一个新的飞跃。     

万用电表的使用

万用电表是一种多用途的携带式仪表。它不但是电讯和电力工程中常用的测试工具,而且在其它部门也经常使用。使用万用表,只有在正确的测量方法时,才能使测量结果的准确度得到保证。下面就我们工作中遇到的问题,谈谈万用表的正确使用。     

氧化物阴极激活过程的俄歇能谱分析

本文介绍了一种实验室用的俄歇电子能谱分析装置。利用该装置对氧化物阴极及其活性镍基金属进行了分析研究,观察到激活前后Ba、Sr原子浓度比有明显变化,这种变化与活性Ni中激活剂向表面富集有关。激活好的氧化物阴极表面BaO多于SrO,而且有盈余Ba存在。     

用俄歇电子能谱仪研究钡钨阴极的表面状况

在实验室条件下,AES研究阴极表面,应用小束流以减少表面损伤。利用自制AES系统地分析了钡钨阴极在分解、激活、老炼过程中表面组分和状态的变化。对于铝酸钡钙扩散型阴极表面,当温度高于1100℃时,钡的覆盖度明显下降。经较长时间老炼后钡在钨上平均只有不到一个单原子层的覆盖量。激活良好的处于正常工作状态时,阴极表面上主要是钨、氧、钡,而且钡可能以金属钡和氧化钡共存。阴极中的主要杂质碳和阴极材料、处理工艺、贮放条件和历史以及工作条件有密切关系。激活后的阴极表面含碳量和发射性能有一定的关系。较大量的硫可能来自组成多孔钨体的钨粒内部,高温时有可能消除掉。     

某同位素生产线放射性废气处理系统设计

为确保某同位素生产线项目产生的气态放射性流出物能满足排放标准,根据释放源项及气体流量,对比了加压衰变法与滞留床吸附法的优缺点。借鉴国内核电站放射性废气处理系统的工艺设计,提出了“碱洗+冷冻除湿+吸附干燥+活性炭滞留”联合工艺。文章中详细介绍了处理工艺流程、主要设备的参数设计及滞留床活性炭用量的优化计算,对废气处理装置的功能、系统流程、系统配置、布置方案等进行阐述,给出装置总体设计方案。装置设计完毕后进行了相应的试验,单床滞留时间4.6 h(以Kr-85计),优于设计值。干燥装置压降在216~274 Pa之间、滞留装置单床压降在183~310 Pa之间,均满足设计指标要求,在安全性、经济性和可实施性方面作到了较好的综合平衡。     

斑点叉尾鮰鱼露生产工艺研究

以斑点叉尾鮰为原料,采用多酶法制取鱼露。通过正交试验优化酶解工艺条件参数。结果表明,最佳生产工艺条件为：酶解时间3.5h、酶解温度50℃、pH8、酶浓度2%。所得鱼露味道柔和,具有鱼露特殊香气。     

靖州杨梅果醋及其饮料的研制

以杨梅鲜果为原料,通过对比实验和正交试验,确定杨梅果醋生产工艺和果醋饮料的原料优化配比。结果表明,酿造工艺条件为杨梅果汁糖度调整至14%,接入0.3%酒用活化酵母,酒精发酵温度28～32℃,酒精发酵时间约8d;杨梅酒液酒精度调整至7%,接入10%醋酸菌,醋酸发酵温度36～38℃,醋酸发酵时间约10d。杨梅果醋饮料调制的优化参数为酸度5.5%的杨梅果醋8.0%,杨梅果汁15%,蜂蜜7.0%,有机酸(柠檬酸:苹果酸=2:1,W/W)0.08%,在25MPa压力下均质处理。酿制的杨梅果醋具有食醋清香和杨梅果香,酸味柔和,风味独特;调制的杨梅果醋饮料澄清透明,酸甜爽口,杨梅果香浓郁。     

工业厂房结构设计中钢结构设计要点分析

随着社会经济的不断发展,我国的工业也取得了快速的进步,工业厂房建设也不断地增多。确保工业厂房的质量可以在增加工业生产安全系统的同时提升工人的生活质量。工业厂房采用钢结构可以有效提高自身的灵活性以及稳定性,确保正常开展工业厂房的建设施工,同时在目前钢结构工业厂房的设计中,也在不断地运用新技术、新工艺。这些新技术和新工艺的应用对钢结构在厂房结构中的应用起到了推动的作用,并且有效地保证了工业厂房的建设质量。分析了工业厂房结构设计的关注要素,对工业厂房钢结构设计中的要点进行了探讨,可为相关的行业提供一定的参考。