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<正> 一、引言 应用SOI衬底制备的集成电路具有集成密度高、工艺简单、高速、高可靠性及易三维集 成等优点,可望成为VLSI数字系统的理想工艺。目前,国内外SOI技术的主要研究领域有两个方面,一是SOI衬底的制备,所采用的方法有SOS,离子注入隐埋层及区熔再结晶等,这些方法所制备的SOI衬底的单晶质量远不如体单晶硅,且价格昂贵,应用于VLSI受到限制;二是将常规体硅器件结构应用到SOI衬底中,这种简单的器件结构的移植往往不能充分发挥SOI技术的潜力,也不能有效地克服体硅器件结构本身的各种负效应。基于以上原因,本研究提出了一种制备高质量SOI衬底的方法——氧化硅片固态扩散键合工艺,利用这种高质量SOI衬底的特点及通过深入研究体硅器件结构的各种负效应,提出了一种高性能SOI互补埋沟反相器(简称SDB/CBCFET),利用所开发的三维稳态及瞬态模拟程序对这种新型反相器的性能进行了数值分析。 相似文献
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目的研究创客办公空间系统的特点,探索现代办公空间的设计思路,打造符合"绿色、共享、高效、环保"理念的创客办公空间。方法运用服务设计的理念和策略,以创客用户为先,追踪所有参与人员的行为过程,提炼涉及所有机会点。分别以业务空间、展示空间、共享空间、私人空间为触点进行设计实践,致力于打造完美的用户体验。结论服务设计中对用户行为和过程的研究能够有效把握创客空间的现实痛点和潜在需求,为现代城市办公空间的设计方向提供参考。 相似文献
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本文提出一种消除附加质量的新方法,此法应用结构修改原理,把消除结构附加质量的做法视为对结构的一种修改,用结构修改的计算机模拟程序求得无附加质量的结构的模态参数,从而达到消除附加质量影响的目的。应用实例表明:对消除传感器等附加质量对模态参数的影响具有良好的效果。 相似文献
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本文探讨线性系统的加速度、速度和位移单位脉冲响应函数的测量方法,证明了有限频宽测得到的单位脉冲响应函数有效的条件。介绍了刚体模态存在时的处理方法。本文中给出了应用实例。 相似文献