原子层沉积的TiN/HZO堆栈界面元素的扩散研究

传统钙钛矿材料微缩后难以保存铁电性，并且与CMOS的兼容性差，而薄至10 nm以内的铪锆氧化物（HZO）材料仍然具有铁电性且与CMOS兼容性好，这弥补了传统钙钛矿的本征短板，备受学界和产业界关注，有望替代动态随机存储器应用于非易失性铁电存储器（FERAM）和铁电晶体管基集成电路中。基于目前应用最广泛的TiN/HZO/TiN堆栈，采用具有高端应用前景的原位ALD技术生长TiN电极，很好地控制了电极层的生长速度及其纳米级的膜厚。研究了堆栈界面元素扩散问题，通过飞行时间二次离子质谱技术发现了界面元素的外扩散现象，采用角分辨X射线光电子能谱研究了外扩散行为的机制，提出了一个可能的理论解释，即由于TiN和HZO之间发生了氧化还原反应引发表面活性剂效应，导致界面元素外扩散。本研究将为HZO基FERAM的应用奠定基础。     

为了忘却和理解的纪念——丹尼尔·里伯斯金和他的当代犹太博物馆

San Francisco's Contemporary Jewish Museum"celebrates Jews and Jewish life,in the spirit of the West Coast."--Daniel Libeskind     

全国电网调度自动化规划座谈会总结发言

这次电网调度自动化规划座谈会,是“电网监测调度现代化管理系统”专业小组成立后的第一次大会。 会议开得很成功,也很活跃,有领导讲话,大会发言,经验交流,小组座谈会,又参观了成果展览,还观看了很多调度自动化的现场录相,达到了会议预期目的,取得了较好效果,有利于推动调度自动化的建设工作。现根据会议发言讨论情况,提出以下几点意见,供今后工作参考。     

我国电网调度自动化系统大发展的十年

本文回顾了我国十年来电网调度自动化系统的发展历程和主要成就，提出了调度自动化的发展设想：加强基础，确保实用；完善SCADA，发展EMS系统；建设远程计算机数据传输网络。文中还探讨了调度自动化发展过程中值得注意的七个问题。     

索尼超高速CMOS传感器颠覆传统数码相机概念

2006年2月8日,索尼在“ISSCC2006”上发布的CMOS传感器给数码相机开发者带来了巨大冲击。该公司此次主要发布了2款产品:一款是640万像素、最高帧速率达60f/s的样品A,另一款是276万像素、最高帧速率达180f/s的样品B。据日本某摄像元件厂商的技术人员介绍,这些产品的像素数据输出速率快得超出想象,令数码相机开发者感到相当震惊。索尼此次发布的C M O S传感器的输出速率是现有300万～600万像素家用CCD相机的20倍～60倍。与4K数字电影相比,样品A的输出速率为其1.5倍,样品B的输出速率为其2倍(见图1)。该技术人员还表示:“我们曾经以为C…     

可转位刀片式球头立铣刀SRF

1·引言SRF型球头立铣刀(图1)可广泛运用在模具制造的三维自由曲面加工中从粗加工至精加工等各道工序。客户希望在进行精加工时通过尽可能减少刀片的更换次数将因更换刀片而造成的模具加工误差(台阶面)减小到最低。这样势必要求每个刀片的能够完成的加工长度能进一步提高。长时     

最新高强度冷轧钢板

最新高强度冷轧钢板［日］濑户一洋等１前言７０年代的石油危机，迫使人们在减少ＣＯ２的排放量、降低燃料费用、减轻汽车车体重量方面作了很多努力。这一时期，高强度钢板取得了长足的进步，如加Ｐ的固溶强化钢、利用Ｔｉ、Ｎｂ等的析出强化钢、大幅度改善延展性的复合组...     

电泳涂漆中的超滤装置

电泳槽中的电泳漆含有很多不纯的杂质、被泳件在表面处理工序也会时常将前处理液带入槽内,大气中的炭酸气体也会溶入槽里的漆液中,以上这些情况产生的各种离子的蓄积都会使电泳漆液电导率上升,破坏电压下降,泳出的漆膜变色,电沉积效率不良及其漆膜防腐蚀性下降等弊病。以上这些弊病除了生产电泳漆部门和使     

小容量数字用户线多路复用设备

对于远离电话局的地区,架设电话难于做到经济及技术上都十分合理,为此,有必要研究出一种新的通信方式。 富士通在日本电信电话公社的指导下,对人口过疏地区用的数字用户线系统进行了研究。1975年已投入使用的SM—D1方式,就是综合了增量调制、数字多路复用等传输技术和     

蒸汽喷射器的研究(三)

一、前言蒸汽喷射器各部尺寸对其动作状态和特性具有微妙而重大的影响,因此,喷射器的设计可认为是困难的。但是,为了合理地设计蒸汽喷射器,首先必须明了这些影响因素。在上一篇文章中,曾谈了蒸汽喷射器的扩压器内流动状态变化的热力学的计算法。根据此计算法可以阐述扩压器各部尺寸的影响。