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电子束加工技术及其在表面工程中的应用 总被引:5,自引:0,他引:5
分析了电子束加工的原理、特点及其应用类型,介绍了电子束加工技术在表面工程中的应用。 相似文献
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为了掌握脉动态电解加工多物理场耦合机制,针对直流电解加工和脉动态电解加工两种加工模式建立了包含电场、流场、传热和气泡的数学模型来开展多物理场耦合仿真分析,研究不同加工间隙下多物理场耦合作用对电流密度分布的影响,通过试验对仿真结果进行了验证。 相似文献
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以某辐射状分布微细群缝结构的电解加工为研究对象,讨论了电解液、工件材料、加工速度等因素对加工精度的影响,结合研制的加工电极设计流场分布,优化加工参数,实现了以较高的效率加工出缝宽小至0.27mm的微细群缝结构,缝宽一致均匀,加工稳定性和重复性均好。 相似文献
27.
可重构电解加工机床研究 总被引:1,自引:0,他引:1
电解加工机床通常是根据用户具体需求单机生产,机床研制周期长、设计重复、成本高。为此,提出采用开放式控制系统、模块化思想开发可重构电解机床,并对机床的机械部分、控制系统及通信系统进行了研究。 相似文献
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模糊神经网络在UV-LIGA工艺优化中的应用 总被引:12,自引:9,他引:3
将模糊神经网络理论和算法应用于负性光刻胶(SU-8)加工高分辨率和高深宽比微结构的工艺研究,在正交试验的基础上对网络进行训练,建立了光刻图形质量与前烘时间、前烘温度、曝光量、后烘时间之间的预测模型。该模型采用五层前向模糊神经网络,学习算法为梯度下降法。进行了实验,实验结果表明,前烘温度与前烘时间对光刻质量影响最大。对120~340μm厚的光刻胶,前烘温度取95℃,前烘时间100min时,图形的相对线宽差最小;超声搅拌能缩短显影时间,显著改善图形质量,试验结果与计算结果十分吻合。将模糊神经网络应用于UV-LIGA工艺中,能实现光刻加工微结构的工艺参数优化。 相似文献
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