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能源和环境是21世纪的两大主题,考虑资源的充分利用、生态环境的保护和社会的均衡发展是摆在我们面前的课题。 相似文献
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换热器(图1)在不同介质和温度下工作,需经常更换,比较麻烦。因穿过隔板时处于悬臂状态(图2),不易穿入。为此,我们采用锥形体引头 相似文献
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基于VOx的非致冷红外传感器是当前MEMS的研究热点。VOx的制作是关键工艺,而VOx多价态共存,优化工艺以提高VO2在VOx中的比例、制备高性能的VOx薄膜为核心技术。采用直流磁控溅射法,对量产型PVD机台进行了技术改造,在溅射过程中用电压同时控制靶材溅射速率和氧气流量,少量的氩气充当靶材的保护气体。溅射完成后在350℃下退火约3h以降低噪声和残余应力。经测试,得到的氧化钒薄膜电阻温度系数(TCR)的绝对值大于2.8%/K,EDX分析得V和O的原子数比约为1∶1.8,像元均匀性优于5%,封装后样品等效噪声温差小于100mK,并给出了384×288阵列样品的红外成像效果图。结果表明:采用的方法有助于实现相关成像阵列的量产化。 相似文献
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