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利用MEMS微电镀工艺技术制作了一种新型的适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感,采用ANSOFT公司的HFSS优化平面螺旋电感的结构。在具有高电阻率的玻璃衬底上溅射0.5μm的铜层作为下电极;PECVD淀积厚度为1μmSiO2作为中间介质层;在介质层上结合厚胶光刻技术电镀厚为22μm的铜作为电感线圈。这套电感制作工艺流程简单、易于与IC制备工艺集成。本文制备的微机械电感在微型植入系统中具有广阔的应用前景。测量结果表明:当工作频率在1GHz左右时,微电感的电感值达到55nH,Q值最大可达到25。 相似文献
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超精密切削单晶硅的刀具磨损机理 总被引:2,自引:0,他引:2
为了研究超精密切削单晶硅过程中金刚石刀具后刀面发生急剧磨损的机理,对单晶硅(111)晶面进行了超精密切削实验,并采用X射线光电子能谱分析仪对单晶硅已切削表面进行化学成分分析.实验结果表明:切削区域的高温高压导致金刚石刀具发生碳原子扩散磨损;切削过程中有碳化硅和类金刚石两种超硬微颗粒形成,而随着切削路程长度的逐渐增加,超硬微颗粒并不随之消失;碳化硅和类金刚石超硬微颗粒在金刚石刀具后刀面刻画和耕犁,从而产生沟槽磨损,直接导致金刚石刀具产生急剧磨损. 相似文献
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采用特殊改性聚酯与普通聚酯共混纺丝,探讨通过气流伺服技术和假捻变形并用的后加工技术,生产新型仿毛聚酯长丝的工艺.结果表明:改性聚酯特性粘数1.0~1.3 dL/g,熔点223~230℃,共混添加时其质量分数为30%~70%,纺丝温度280 ~ 295℃,纺丝速度2 000 ~3 000 m/min,对假捻机的丝道进行适... 相似文献