长余辉发光粒子与光催化剂在SiC晶圆化学机械抛光中的协同作用

目的 获得一种可改善单晶SiC晶圆化学机械抛光(CMP)效率的复合增效技术，实现单晶SiC晶圆高效率和低成本的加工要求，并对其增效机理进行深入研究。方法 通过抛光实验和原子力显微镜测试，探究长余辉发光粒子(LPPs)与不同光催化剂的协同作用对SiC–CMP的材料去除速率和表面粗糙度的影响。结合扫描电子显微镜(SEM)、紫外–可见漫反射光谱仪(UV–vis)、光致发光光谱仪(PL)和X射线光电子能谱仪(XPS)等仪器的测试结果，研究LPPs与光催化剂的协同增效机理。结果 与传统CMP的条件相比，在光催化条件下采用LPPs(质量分数0.5%)+TiO2(质量分数0.5%)+ H2O2(质量分数1.5%)+Al2O3(质量分数2%)的抛光液时，SiC的材料去除速率(MRR)由294 nm/h提高到605 nm/h，同时获得的晶圆表面粗糙度(Ra)为0.477 nm。然而，采用含有LPPs和ZrO2的抛光液抛光SiC时，其材料去除速率和表面粗糙度都未得到明显改善。XPS测试结果表明，LPPs与光催化剂的协同作用增强了抛光液对SiC的氧化作用。UV–vis和PL测试结果显示，LPPs与不同光催化剂协同效果的差异主要与其光学性能有关。结论 在光催化条件下，LPPs和TiO2对单晶SiC–CMP具有协同增效的作用，然而LPPs和ZrO2没有展现出协同增效的作用，即LPPs与光催化剂的协同作用可以改善SiC–CMP的性能，但是光催化剂的选择需要考虑LPPs的发光特性。     

基于建筑效果图灯光布局的研究

随着信息化时代的到来,计算机技术被普遍的应用在了建筑领域中,推动建筑行业的发展,同时,计算机技术的应用也为建筑效果图的前进提供了良好的契机,提高了建筑效果图所要呈现和渲染的效果。一般建筑效果图在制作时主要涉及材质、建模和灯光三个方面的设计,其中灯光布局是否合理、参数的设置是否得当关系着建筑效果图所要表现的建筑场景效果,因此,本文通过研究建筑效果图的灯管布局,分析各种布局方法的设置技巧,以期提高建筑效果。     

磁共振多通道射频接收线圈性能评估

磁共振成像技术追求高信噪比和快速扫描。与单通道线圈相比,多通道线圈具有高信噪比、高分辨率和成像速度快的特点。为服务于射频线圈设计和制作,开发了基于磁共振k空间数据的多通道射频线圈性能评估软件。此软件可以准确方便地计算多通道线圈噪声耦合矩阵和信噪比。     

全定制心电采集的模拟集成电路设计

设计和实现了一种应用于健康监测设备的采集心电信号的模拟集成电路(IC)。该电路系统包括集成了右腿驱动电路的仪表放大器,二阶有源低通滤波器,第二级放大电路,高电源抑制比(PSRR)的低压差线性稳压电源(LDO)以及导联脱落检测电路。与其他已有的方案相比,该全定制模拟集成电路系统集成了工业级应用所需要的全部功能,并且表现出更好的共模抑制和电源抑制性能。芯片采用SMIC0.18μmCMOS工艺流片,且已完成测试,通过电极成功采集到人体心电信号。测试结果表明,该模拟IC实现了在0.5~100Hz带宽内51dB的增益,系统的共模抑制比和电源抑制比为75dB和90dB。在2.9V~5.5V电源电压下正常工作时,芯片消耗190μA的电流。     

基于XQuery的数据集成研究

介绍了XML和其查询语言XQuery的基础,提出一个以XQuery为基础的数据集成框架XBD I,该框架屏蔽底层数据源的特性,对异构数据提供虚拟的XML视图。详细介绍了XBD I框架的设计原则及其关键技术,对和框架实现密切相关的中介器、数据服务等理论进行了说明。     

基于阶跃辨识的PID自整定研究及软件开发

工业过程控制中,一般通过实验试凑法整定控制器参数,这种方法不免带有一定盲目性且瞬态性能指标不够理想;为了让控制器更高效、实用,需要对被控对象模型有精准的辨识,整定出与系统被控对象相吻合的PID控制器参数;以工程应用为出发点,通过深入研究PID自整定技术原理和实际的工程应用,实现了基于阶跃辨识的PID自整定的软件开发,并通过改变对象模型PID参数,验证了该软件系统的稳定性及准确性。     

基于单片机控制的带锁相环三路智能同步采集卡设计

介绍了一种自行设计的以87C196嵌入式单片机为控制器核心并带有锁相环的智能同步采集卡,并较为详细地阐述了其设计思想和设计过程.     

西安市阎良区水资源供需平衡综合分析

对西安市阎良区水资源情况和供、用水情况进行简要介绍后,进行供需平衡综合分析,并对未来水资源供需展开一次、二次和三次供需平衡详细分析。通过分析,以便为有关部门对衡量供水是否满足经济社会需求,从宏观上进一步合理配置水资源,指导供水设施建设的重要工作提供依据。     

线谱频率参数的快速、低存储矢量量化

为降低码书的存储空间和搜索复杂度,更充分地利用线谱频率参数帧内和帧间的相关性,提出了一种快速、低存储的矢量量化器。将线谱频率参数去除平均值后进行一阶滑动平均预测,将残差进行三级矢量量化。在第二级量化时,将高维线谱频率参数矢量分裂成两个低维的部分,分别用不同的码书进行量化,降低了码书的存储空间和搜索复杂度。C语言仿真结果显示,在满足低速率编码的前提下,平均谱失真达到0.91dB,2～4dB的谱泄露为0.13%,无4dB以上谱泄露,同时码书的存储空间和搜索复杂度均降低了31%以上。     

基于LonWorks现场总线的交通信号控制系统

利用LonWorks现场总线技术，设计开发了一种基于现场总线的交通信号控制系统，将信号控制器、LED信号灯、倒计时器及检测器等作为LON节点组成一个完整的网络系统，能够有效地完成灯色控制、LED灯故障检测、绿冲突检测、倒计时驱动及交通量检测等任务。现场应用结果表明：LonWorks现场总线技术的应用可大大提高交通信号控制系统的稳定性和可靠性。