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采用倒筒式直流溅射(ICS)方法,辐射方式加热基片,通过电机带动基片旋转,在两面同时溅射沉积YBCO高温超导双面薄膜。在加热温度为850℃,总压强为35Pa,氧氩比为1∶2,靶基距50mm,基片转速5~40r/min条件下,在20mm×20mm的LaAlO 相似文献
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倒筒式直流溅射法生长大尺寸双面YBCO高温超导薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用倒筒式直流溅射结合辐射加热方法对无源微波器作用的Y1Ba2Cu3O7-x(YBCO)双面薄膜生长进行了研究,实验结果表明:直流非磁控溅射可以制备性能良好的薄膜,通过基片绕支撑和基片表面法线旋转,实现了在(100)LaAlO3基片两面同时原位沉积厚度均匀的BCO薄膜,生长出的φ25.4mm(linch)同质量的BCO双面薄膜,两面的Tc0分别为90.3K和90.4K,超导转变宽度均为0.8K,两面的微观表现电阻(Rs)随温度变化一致,Rs(77K,10GHz)分别为330μΩ和400μΩ,在直径30mm的基片上,薄膜的厚度均匀性良好,其厚度起伏在10%以内,薄膜面内的Tc0分布在90K附近,Rs都分布在1μΩ以内,能满足微波器件研制的需要。 相似文献
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移动Agent安全需求及其安全策略的分析与研究 总被引:6,自引:0,他引:6
从移动Agent体系架构出发,分析了在开放性网络环境中存在的多种安全威胁,阐述了移动Agent安全需求及其特性,由此研究了相应安全和安全策略,并提出了一些新的见解与方法,概括了一个安全、完整、健壮的移动Agent应该考虑的各个安全环节和安全策略。 相似文献
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采用射频溅射,在Ba0.65Sr0.35TiO3(BST)薄膜和Pt/Ti/SiO2/Si衬底之间制备10 nm的Ba0.65Ru0.35RUO3 (BSR)缓冲层,研究了BSR缓冲层对BST薄膜结构和性能的影响.与没有BSR缓冲层的BST薄膜相比,BSR缓冲层可使BST薄膜呈高度a轴择优取向生长,改善了薄膜的介电常数,降低了薄膜的漏电流密度,使其热释电系数达到7.45×10-1 C cm-2 K-1.表明利用BSR缓冲层可以制备高热释电性能的BST薄膜. 相似文献
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利用激光分子束外延异质外延 BaTiO3 薄膜。通过反射式高能电子衍射对薄膜生长进行原位监测,利用原子力显微镜分析薄膜表面形貌,发现在沉积速率为 0.016nm/s,激光功率为 6J/cm2 的条件下,当基片加热温度高于 480℃时,BaTiO3 薄膜以层状生长模式进行生长;而当温度在 430~480℃之间时,薄膜生长为SK模式,即层状加岛状的混合生长模式。进一步降低基片加热温度,在 430℃以下观察到了三维岛状生长模式。通过优化激光功率和沉积速率等工艺参数,得到了层状生长 BaTiO3 薄膜的最低结晶温度为330℃。根据实验结果分析了激光功率对薄膜生长温度的影响。同时结合 X 射线衍射分析在不同的生长条件下,研究温度对薄膜异质外延生长的影响,发现在较高的生长温度下,在 BaTiO3 薄膜生长过程中,位错产生的几率较小,薄膜的外延性好,而在较低的生长温度下,薄膜内部位错较多,异质外延性不佳。 相似文献