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81.
为了提高高g微机械加速度传感器在极端恶劣环境中应用的可靠性,根据自制的高g微机械加速度传感器芯片,研究设计了一种新型"台阶式"传感器芯片的盖帽封装结构。利用圆片级键合工艺和有限元分析(FEA)方法确定了盖帽封装结构材料与尺寸的设计方案。优化微电子机械系统(MEMS)加工工艺流程完成对盖帽封装结构的加工,并通过数字电子拉力机对实现圆片级盖帽封装的传感器芯片进行键合强度测试。测试结果表明,键合强度为35 000 kPa,远大于抗过载封装设计要求下的键合强度值(401.2 kPa),证明了盖帽封装结构设计的可行性和可靠性。 相似文献
82.
随着我国计划经济向市场经济转型的不断深入,国有企业投资管理体制也在不断变化,并在实践中积累了许多经验。但国企投资管理过程中存在的问题不容忽视。 相似文献
83.
评述了采用活度系数方程、状态方程、经验模型、人工神经网络和拓扑方法研究有机物系固-液相平衡的理论和方法,其中活度系数模型是研究有机物系固-液相平衡的主要方法。 相似文献
84.
设计了双弹头霍普金森杆用于精确标定高g值加速度计的动态线性参数。基于一维应力波传播理论和弹性波叠加原理,分析了双弹头霍普金森杆为不同尺寸时对获取所需激励加速度信号的影响。利用ANSYS/LS-DYNA有限元仿真软件对不同设计条件下双弹头霍普金森杆的冲击效果进行了仿真分析。通过对不同影响因素的对比,确定了结构参数,设计了直径为30mm,长度为1 200mm的双弹头霍普金森杆,即高量程加速度计动态线性校准系统。利用设计的双弹头霍普金森杆对高量程加速度计进行了动态线性校准和试验验证,结果显示加速度计动态线性误差在5%以内,证明了设计的装置可对高量程加速度计进行动态线性校准,校准结果基本满足冲击校准的要求。 相似文献
86.
分批精馏过程设计计算的基本思路,是以过渡馏分循环稳定后操作周期作为分批精馏过程设计计算的基准操作周期,将连续精馏过程简捷设计计算方法的基本思路引入分批精馏过程的设计计算,用来计算持液量较小的多元分批精馏过程。 相似文献
87.
88.
基于一维应力波传播理论和弹性波叠加原理,设计了双弹头霍普金森杆校准装置,用以实现精确标定高g值加速度计的动态线性参数.利用ANSYS/LS-DYNA有限元仿真软件对双弹头霍普金森杆进行了数值模拟;分析了子弹材料、垫片材料、垫片厚度对加速度激励波形的影响,并结合以上三种因素对内、外弹单独撞击产生的加速度叠加曲线与两弹同时撞击产生的加速度曲线的一致性进行了分析;最终,通过试验验证了双弹头霍普金森杆校准装置测量加速度计动态线性参数的可行性. 相似文献
89.
90.