无氨氮化硅薄膜在MEMS硅腐蚀中的应用

研究了等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)生长的无氨氮化硅薄膜作为掩蔽层在MEMS硅腐蚀工艺中的应用。比较了PECVD不同工艺条件(衬底温度和功率)以及不同四甲基氢氧化铵(TMAH)硅腐蚀液温度对无氨氮化硅薄膜硅腐蚀掩蔽效果的影响。通过优化无氨氮化硅薄膜生长条件和硅腐蚀液温度,得到了高质量的氮化硅薄膜,颗粒以及针孔密度较少,0.2μm以上颗粒度小于100,提高了硅腐蚀掩蔽选择比。实验结果显示优化生长条件的氮化硅薄膜(衬底温度350℃,功率30 W),在85℃的TMAH硅腐蚀液中,硅的腐蚀速率为68μm/h,氮化硅薄膜腐蚀速率为33.2 nm/h,硅与氮化硅的腐蚀选择比为2 048,满足MEMS体硅腐蚀工艺对于掩膜特性的要求。     

大孔径坚硬石质深挖孔桩高效施工技术研究

以郑卢高速公路大铁沟特大桥施工为例,针对该桥挖孔桩基础2.2 m孔径、地处风化石质围岩地形的工程特点,详细论述了岩石地质条件下挖孔桩爆破施工的具体工艺流程及其施工技术要点,以保证基岩的完整性和稳定性。     

夹片式锚具锚垫板荷载传递试验介绍——预应力锚固区安全探讨之七

意大利米兰市"材料检验试验室"作为官方机构,完成了一项夹片式锚具铸造型锚垫板的荷载传递试验,以确认此项锚垫板用于混凝土结构的负荷能力及安全性。它依据的标准是欧洲标准ETAG 013《预应力结构后张成套组件》和它的"理解文件"(2007年12月发布)。欧洲28个成员国都执行这项标准,域外工程单位也多有采用。我国即将实施的新版锚具国家标准(GB/T 14370)与欧洲标准基本一致。这份试验报告对我国当前情况很有参考价值。在我国预应力行业中,多数从业人员对"荷载传递试验"还比较陌生,不久将会遇到这种试验的工作要求。本文按试验报告原件的章节对试验过程进行了综合梳理和说明,并补充了欧洲标准的相关要点,希望减少读者疑问。     

数据中心及家用直流插头插座标准的探讨

本文介绍了直流插头插座的运用现状及前景;结合IEC/TS 62735以及国内现存相关标准,分析了数据中心及家用直流插头插座标准的研制进展情况;同时,指出了我国直流插头插座标准制定中所面临的问题,并提出了相应的解决方案。     

光纤传感技术在油浸式电力变压器状态监测应用的研究进展北大核心CSCD

变压器的正常运行对电力系统的稳定至关重要。因此,对变压器进行实时状态监测并基于其进行故障分析具有重要意义。光纤传感因其灵敏度高、抗电磁干扰、耐高温等优势广泛应用于变压器监测中。文中首先介绍了光纤光栅传感、分布式光纤传感及荧光光纤传感等技术的原理和特点。详细分析了光纤传感技术在油浸式电力变压器温升、振动、局部放电和油中溶解气体4种状态监测的原理和研究进展。最后对其后续研究方向进行了展望。     

基于VB6.0下的PEC8000模块与计算机串口通讯的应用

介绍了Modbus RTU通讯协议,阐述了如何在Visual Basic 6.0环境下利用MSComm控件实现可编程以太网控制器PEC8000与计算机串口通讯的技术,并给出了相应的程序设计过程。     

前哨淋巴结显像剂99Tcm-rituximab体外特性和安全限度的实验研究

用⁹⁹Tc^m标记rituximab（美罗华）评价特异性前哨淋巴结（SLN）示踪剂⁹⁹Tc^m-rituximab体外特性及其体内应用的安全性。采用聚丙烯酰胺凝胶电泳（SDS PAGE）检测了⁹⁹Tc^m-rituximab的分子完整性;采用间接酶联免疫荧光分析（ELISA）及流式细胞术检测了⁹⁹Tc^m-rituximab的免疫活性;最后依据中华药典的要求行⁹⁹Tc^m-rituximab安全限度及在正常小鼠体内分布实验。结果显示：⁹⁹Tc^m-rituximab标记率为90%～95%;标记化合物分子完整,免疫活性保留完全,标记化合物无菌无热源。受试小鼠以60 mg/kg剂量注射⁹⁹Tc^m-rituximab（相当于人体用量的500倍）,1周内未见小鼠死亡。小鼠体内分布结果显示：⁹⁹Tc^m-rituximab入血后主要通过肾脏排泄,放射性摄取值由1 h的(14.01±0.61)%ID/g减少为24 h的(3.51±0.48)%ID/g;肝脏亦可见摄取。各器官未见有明显的放射性滞留。因此,⁹⁹Tc^m-rituximab结构及性能稳定,无急性毒性,使用安全,可应用于临床。     

鄂尔多斯盆地巨厚白垩系下煤层开采突泥溃砂物源及成灾模式

鄂尔多斯盆地是我国煤炭储量最大、煤质优良的富煤区,盆地腹部为厚度达数百米至上千米的巨厚白垩系含水砂岩层覆盖.近年来,随着盆地周边煤炭开采逐渐向腹地延伸,巨厚白垩系覆盖区侏罗系煤炭开采的一些矿井,发生了严重的突泥溃砂事故,给煤炭安全开采造成严重威胁.通过地质理论分析和区域露头地质调查,认为白垩系底部与中侏罗系顶部接触带(...     

中分辨率遥感影像云检测与厚云去除研究综述

中分辨率遥感影像（10～100 m分辨率）具有适中的空间分辨率、较高的重访周期和较大幅宽实现大范围的对地观测,是当前准确获取地球表面信息的核心遥感数据源。已有研究表明,地球表面常年60%以上云量覆盖,成为中分辨率光学影像获取有效地表信息的最大的限制性因素之一。如何高效地标记云/阴影并合成晴空影像,是实现地表要素提取、土地覆盖动态变化和地球系统物质和能量循环参量反演的关键,可视为同辐射校正、几何精校正一样的遥感影像预处理必备步骤,这也是进行各种定量遥感应用的基础。总结过去中分辨率影像云检测和厚云去除的研究发现,云检测截止在2019年有多篇综述文章进行总结,但是厚云去除的综述性文章未有报道。因此,研究重点总结了2018年以来云检测方法的科研成果,尤其是基于机器学习的技术方法,梳理出了这一研究的现状和重点;对于厚云的去除方法,扩展了厚云去除方法的概念,全面总结了各种厚云的去除方法,分析了各种方法存在的优缺点,对今后的研究重点进行了展望,为相关的研究学者对这一方向提供一个全面而清晰的认识。     

水电工程施工设备维修的现状及探索

针对目前我国水电工程施工设备维修管理及技术存在的问题,分析了设备维修模式的发展历程,指出维修管理组织形式应朝着相对独立和专业化的方向发展,并尽快培养出掌握现代化维修手段的技术人员,建立健全适合企业自身的维修管理模式。