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Si基体上双层Ti-O薄膜的XPS和AES分析研究 总被引:2,自引:0,他引:2
采用沉积-离子轰击-沉积工艺制备了双层Ti-O薄膜,并利用XPS和AES对膜层进行了深度分析.结果发现:在氩离子轰击后的薄膜上再沉积同质薄膜,在膜表层一定厚度内可得到具有化学配比的TiO2薄膜;氩离子的轰击使钛及碳氧化物内迁入Si基体,而Si外迁到膜内,并造成多价形式的Ti氧化物共存,TiO2在这些Ti氧化物中所占的比例随沉积膜深度呈现先逐渐减少而后又逐渐增大的分布规律;此外,氩离子的轰击使得薄膜与基体在界面处形成较宽的、复杂的混合层.混合层主要由TiO2、Ti2O3、TiO、未氧化完全的SiO2-x及纯Si组成。 相似文献
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利用高频激发氧等离子体对sol—gel薄膜(旋转单面单层SiO2膜)进行清洗处理,并对清洗前后的样品进行时间不等的处理,发现样品在清洗后,透过率曲线向短波长方向移动,并且透过率峰值增加。随着存放时间的变化,透过率曲线也变化。在存放20天后膜层透过率曲线峰值和位置不再变化。 相似文献
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