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基于ZnO材料的半导体特性,制备了一款敏感元件为纳米尺度的谐振器.阐明了一维半导体材料静电激励场效应拾振的检测原理,利用COMSOL Mutiphysics耦合仿真分析软件,建立了ZnO谐振梁仿真模型.仿真分析了ZnO梁静电激振参数的对谐振特性的影响,优化得到最佳激振参数:交流0.01 V,沟道深度1.2μm.采用MEMS工艺制备了谐振器基底,利用转移工艺形成了长度50μm,直径550 nm的ZnO谐振梁元件,并通过FIB沉积技术形成欧姆接触.基于混频锁相原理,测量了ZnO谐振梁静电激振场效应拾振的幅频特性,结果表明该谐振梁特征频率为1.018 MHz,与仿真结果吻合. 相似文献
94.
压电纳米器件具有体积小、灵敏度高、可集成度高等优点.阐述了同轴聚焦电流体喷射打印技术的原理,研究了电压、内液流量、喷针与衬底的距离对打印线结构的尺寸与形状的影响.根据实验结果,设置电压为5.7 kV,内液流量为70 nL/min,喷针与衬底的间距为17 mm,打印出直径约80 nm,长度约70μm的PZT纳米梁.此外,采用探针台、电荷放大器和数字万用表搭建的检测装置,测试分析了单根PZT两端固支梁的压电信号,当梁中点的变形约3μm时,产生的电荷量达到10-4 pC量级. 相似文献
95.
基于提升小波和递推LSSVM的实时故障诊断方法 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种基于提升小波(LW)与递推最小二乘支持向量机(RISSVM)相集合的实时故障诊断方法(LW-RLSSVM).该方法首先通过提升小波变换对数据实时去噪,再通过实时算法训练最小二乘支持向量机分类器.由于采用了递推算法,节省了存储空间和运算时间,同时增加了诊断模型的适应性.为验证所提方法的有效性,将LW-RLSSVM应用于TE过程和青霉素发酵过程.实验结果表明,LW-RLSSVM集合方法能有效实现实时故障诊断,在诊断速度和适应性方面,优于基于第一代小波与LSSVM相集合(W-LSSVM)的故障诊断方法;在诊断精度等方面,该方法优于LSSVM、RLSSVM等方法. 相似文献
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设计了一种具有凹槽磁极永磁盘和开槽导体盘结构的永磁调速器。针对该结构的多目标优化问题,采用中心复合设计实验构造了输入样本空间,采用有限元分析得到输出样本空间,从而构造出完备的训练数据集;然后基于合成核分类近似支持向量回归机建立了该装置的优化结构参数与性能指标(即输出转矩和涡流损耗)之间的预测模型;为了尽可能实现输出转矩最大和涡流损耗最小,将两个优化目标转化为"满意度最大"这一单目标问题,并利用空间粒子群优化算法进行求解,得出了满意的结构。有限元仿真结果表明:与标准结构永磁调速器相比,优化之后永磁调速器的性能得到了改善,使得涡流损耗降低了10%,同时输出转矩提高了22%;另外,制造了样机并进行了实验室仿真平台的验证,证实了所提优化设计策略的有效性以及改进型永磁调速器良好的性能。 相似文献
97.
在三相不平衡的电网电压条件下,存在电压不平衡、频率偏移的现象,会引起电压正序分量的相位难以被检测,相位估计精度严重降低。为了解决这一问题,本文提出了一种针对电压不平衡条件下的相位估计方法。首先,分析不平衡电网电压对相位估计造成的影响,并建立不平衡电网电压的复变模型;然后,提出复变最小均方误差(LMS)的相位估计方法进行电压正序分量的相位检测,又针对电压频率变化的问题,设计了频率跟踪算法法对电压的同步频率进行校正;最后通过仿真和实验,证明了本文提出的方法能够在三相不平衡的电压条件下快速准确地估计正序分量的相位,并能有效地降低电网电压频率偏移对相位估计造成的影响。 相似文献
98.
基于约束图谱旋量分析方法的调平机构约束设计 总被引:2,自引:0,他引:2
约束图谱分析方法从自由度和约束的视角处理机械设计问题,由于自由度和约束概念的一般性,因而该方法对机械设计问题具有广泛的指导意义。从刚性机构及机械接口通用设计方法角度,将旋量理论应用于约束图谱分析方法研究,采用纯力旋量表示点接触约束,采用运动旋量表示自由度,给出约束图谱分析几何概念的旋量描述;基于互易旋量,提出自由度超平面的概念,用以描述点接触约束的单向性,给出并联机构自由度分析及串联机构约束分析方法;在此基础上,提出自由度线等价原则及自由度约束互补原则的代数基础,由此形成集成几何概念的约束图谱旋量分析方法。以光刻机调平机构为例开展应用研究,指出常用2-SPS&1-SP调平机构欠约束和欠确定运动问题,进而提出1-PSV&1-PSE&1-S调平机构,介绍约束图谱旋量分析方法在机构约束设计问题中的应用。 相似文献
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100.
用系统辨识的方法建立了液力变矩器动态特性模型,编制了系统辨识仿真软件。通过实验对所建模型的参数进行了识别。结果表明,采用系统辨识的方法对液力变矩器动态特性进行研究是可行的,而且具有较高精度。 相似文献