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倪立华范晓王函张召李佳龙 《固体电子学研究与进展》2022,(6):515-520
随着先进半导体器件需求的不断提升,深沟槽硅外延已逐渐代替传统离子注入工艺成为器件开发的新方向,由于受晶向的影响,硅外延生长质量存在极大差异。通过<100>和<110>两种晶向硅片在交叉深沟槽中的外延生长,采用SEM和TEM分析了硅外延生长形貌和质量,运用TCAD模拟验证该结构下的外延生长机理,同时采用暗场扫描(DFI)和表面刻蚀方法检测硅片表面缺陷。结果表明硅晶向对交叉深沟槽外延的生长质量有重要影响,<100>硅片在交叉区域外延形成的{110}面和{111}面多,容易产生位错缺陷,而<110>硅片相比<100>硅片转向了45°,外延中形成的{110}面和{111}面减少了一半,从而外延质量改善明显。 相似文献
74.
卫生部法监司关于转请核查部分保健食品涉嫌违法生产经营的函
各有关省卫生厅局:
最近,我司收到投诉,反映部分保健食品(名单见附件)利用报刊、产品说明书等涉嫌进行违法宣传。现将有关材料转去,请你厅进行核查。如情况属实,应依法严肃查处。请将核查结果于2月1日前函报我司。
附件:部分保健食品名单
卫生部卫生法制与监督司
二○○一年一月八日 相似文献
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西藏自治区卫生厅 :你厅“关于将冬虫夏草等药材列入药食两用名单的请示”的函 (藏卫监发 [2 0 0 0 ]47号 )收悉。“既是食品又是药品的名单”需由卫生部认定和公布 ,现我司正组织中医药和食品等方面专家研究相关问题 ,并已将你厅的来函转请有关专家一并考虑。此复。卫生部卫生法制与监督司二○○一年一月八日卫生部法监司关于“将冬虫夏草等药材列入药食两用名单”的请示的复函 相似文献
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正非常战在历史的长河里,有多少辉煌与遗憾淹没在浪花中。"非常战"以会新的视角,剖析熟悉战例中您不熟悉的内容水面舰艇反潜一直以来被认为是风险最大的作战任务之一。1971年12月,第三次印巴战争中,印度的"库卡里"号反潜舰被巴基斯坦"汉果"号潜艇击沉,成为这场战争中印度损失的唯一一艘军舰,也是二战后第一艘被潜艇击沉的反潜舰。 相似文献
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各省、自治区、直辖市技术监督局,新疆建设兵团技术监督局,国务院各有关部门,直属标准化技术委员会:1990年以前的专业标准(代号ZB)共有6000多项,《中华人民共和国标准化法》颁布以后,我局要求尽快清理并转化为其他标准或废止,但至今还有相当数量专业标准在使用。国家标准清理整顿时有3353项要求转化为其他标准,至今仍有很多未转化,还在继续使用。为了加强标准化工作的管理,我局决定将于1999年3月1日废止以上两方面的标准。有关事宜通知如下:(1)从1999年3月1日起,专业标准(代号ZB)清理整顿后… 相似文献
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近日,从国内知名数码厂商纽曼公司获悉:在这个黄金5月,纽曼同时推出了3款MP3新品。纽曼此举,为原本就十分热闹的国内MP3市场注入了一股新的活力,将再次掀起一股纽曼MP3风暴。业界普遍认为,5月新品的大量上市,让国内众多数码音乐发烧友们有了更多选择,同时也加剧了国内商家的竞争力度,对MP3市场的繁荣与发展起到了进一步的促进作用。据悉,纽曼公司此次推出的3款产品分别为纽曼之音P13、P16与P19。3款产品在品质上延续了纽曼MP3产品一贯的音质出色、操作简便的特点。在价格上则是从低到高,内部功能上由简到繁,几乎涵盖了从一般初级消费… 相似文献
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