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71.
72.
The optimization of electrolytes and the material removal mechanisms for Cu electrochemical mechanical planarization (ECMP) at different pH values including 5-methyl-1H-benzotriazole (TTA), hydroxyethylidenediphosphoric acid (HEDP), and tribasic ammonium citrate (TAC) were investigated by electrochemical techniques, X-ray photoelectron spectrometer (XPS) analysis, nano-scratch tests, AFM measurements, and polishing of Cu-coated blanket wafers. The experimental results show that the planarization efficiency and the surface quality after ECMP obtained in alkali-based solutions are superior to that in acidic-based solutions, especially at pH=8. The optimal electrolyte compositions (mass fraction) are 6% HEDP, 0.3% TTA and 3% TAC at pH=8. The main factor affecting the thickness of the oxide layer formed during ECMP process is the applied potential. The soft layer formation is a major mechanism for electrochemical enhanced mechanical abrasion. The surface topography evolution before and after electrochemical polishing (ECP) illustrates the mechanism of mechanical abrasion accelerating electrochemical dissolution, that is, the residual stress caused by the mechanical wear enhances the electrochemical dissolution rate. This understanding is beneficial for optimization of ECMP processes. 相似文献
73.
为解决层状黄土地区地铁隧道的安全施工,采用现场量测与Rocscience软件模拟分析相结合的方法,研究了全断面开挖过程中地铁隧道围岩的稳定性问题。研究结果表明,采用软件分析的结果与现场量测的结果基本一致,在隧道中心线两侧均出现了显著的沉降现象,由于地铁下腹地层为粉砂,所以开挖的隧道要及时闭合,并且要布置仰拱或是管片整体支护。 相似文献
74.
庞媛媛 《平顶山工学院学报》2014,(2):88-92
随着信息技术的迅猛发展和宗教文化旅游的持续升温,信息化在实现宗教文化旅游的集约化经营转变、可持续发展以及满足游客日益强烈的个性化需求上发挥着越来越重要的作用。阐释了宗教文化旅游信息化的概念、参与主体之间的关系及其发展必要性,分析了当今宗教文化资源开发中的主要问题,阐明了应从宗教文化旅游管理机制的现代化和信息化、宗教文化旅游目的地网络营销、创建宗教文化资源数字博物馆、创造能够诠释宗教文化内涵的高科技旅游产品和利用信息技术提升导游人员的素质等方面加强宗教文化旅游的信息化建设。 相似文献
75.
浅层地震勘探在城市活断层探测与危险性评价中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
活动断层是引起自然灾害的重要因素之一,如何减少活动断层带来的生命、财产损失成为人们努力的目标。阐述了浅层地震勘探在城市地震活断层探测与地震危险性评价项目中的应用,采用地震勘探的方法,从地震勘探测线的布置、施工参数的确定,到资料的综合处理和解释都进行严格的管理,最终获得了反射波信噪比高、断层显示清晰的时间剖面。通过对地震资料的综合分析和研究,可以确定勘查区重点断层隐伏段的位置、断层错断的层位与深度,为城市断层危险性评价和城市发展规划及重大工程选址提供科学依据。 相似文献
76.
邢媛媛 《武汉冶金管理干部学院学报》2007,17(1):58-60
一些语言和文章之所以流传广泛,经久不衰,是因为它们极有表现力,其中不乏准确恰当的修辞手段,从而使文章更加形象生动、意蕴丰富并且引人入胜。而翻译的标准是在忠实、通顺的前提下尽可能地保留原文的风貌,本文通过对翻译技巧的方法的运用,英汉双语文化的探悉,分析了常用修辞方法——比喻的译法。 相似文献
77.
79.
在不同温度下对TC4钛合金进行固溶处理,随后通过拉伸试验机、扫描电镜和光学显微镜等手段分别测试和观察TC4钛合金的力学性能、拉伸断口的形貌和显微组织,以研究固溶温度对其微观组织和断裂行为的影响。结果表明,随着固溶温度的升高,TC4钛合金的抗拉强度和规定塑性延伸强度持续增加,收缩率和伸长率逐渐降低,说明固溶处理有效提高了钛合金的强度,但却伴随着塑性的降低。经固溶处理后α相占比增加,且随着固溶温度升高β相逐渐向α相转变,α相强度更高,因而钛合金强度得以提高。断口的宏观形态呈暗灰色,且观察不到放射区;根据断口微观形态照片存在的大量韧窝,可以判断出其拉伸后断裂机制为韧性断裂。 相似文献
80.
用高能量密度脉冲等离子体于室温下在氮化硅陶瓷刀具上成功沉积了高硬耐磨的氮化钛涂层。薄膜厚度用光学显微镜和俄歇电子能谱仪测定,薄膜元素和相组成与分布分别用俄歇电子能谱仪、X光电子能谱以及X光衍射仪测定,薄膜微观结构用扫描电镜观察,薄膜表面粗糙度用光学显微镜测定,薄膜力学性能由纳米压痕实验和纳米划痕实验确定,薄膜的磨损性能用上业条件下的切削实验评价。实验结果表明,在最优化条件下,涂层与基体的结合力很好,纳米划痕实验临界载荷达80mN以上;氮化钛涂层具有很高的硬度和杨氏模量,分别达28GPa和350GPa以上。涂层刀具用于HB达2200MPa—2300MPa的HT250钢切削实验表明,刀具耐磨损能力增强,寿命明显提高。 相似文献