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GaAs太阳电池帽层腐蚀研究--GaAs/AlGaAs薄膜体系的选择性腐蚀 总被引:1,自引:0,他引:1
由p+-GaAs帽层和p-AlxGa1-xAs(x=0·8—0.9)窗口层构成的异质薄膜体系是GaAs太阳电池器件中的常规结构。对该异质结构的只腐蚀GaAs而不腐蚀AlGaAs的选择性腐蚀工艺是GaAs太阳电池制备过程中的一道关键工序。针对传统腐蚀工艺中出现的腐蚀后露出的AlGaAs表面呈现彩色的问题,从改进腐蚀液配方角度,围绕通常采用的氨水-双氧水(NH4OH-H2O2)腐蚀液体系,对该问题作了深入细致的专门研究,并与柠檬酸-双氧水(C6H8O7-H2O2)和柠檬酸-柠檬酸钾-双氧水(C6H8O7-K3C6H5O7-H2O2)腐蚀液体系作对比,最终得到了较满意的氨水-双氧水-磷酸(NH4OH-H2O2-H3PO4)新腐蚀液体系。这种腐蚀液体系不仅可在较宽的溶液浓度范围内实现对高Al组分GaAs/AlGaAs异质结构的选择性腐蚀,而且也不会对露出的AlGaAs外观产生明显影响 相似文献
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企业集团竞争力系统分析 总被引:2,自引:0,他引:2
基于系统论的观点构建了与外部环境进行物质、能量与信息交流的企业集团竞争力系统模型,通过该模型对竞争力的形成及变化从制度要素、组织要素、资源要素和能力要素四个方面进行了系统地分析,得出制度要影响着资源与能力的相互转化,组织要素直接制约着竞争力的大小。 相似文献
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本文研究了混凝土、岩石类损伤材料的宏观断裂模型。文中从损伤材料中微裂纹等缺陷的拉裂扩展过程,研究宏观断裂的形成与发展,并由此建立了相应的本构关系和断裂判据。文中对此模型用地质力学模型试验作了验证。最后将其应用于某水电站建基面外移方案可行性研究中。 相似文献