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观察集成精密传感器的容错型联网拓扑结构的发展 ,其主要集中在以MODBUSTCP/IP以太网为基础的SEMI传感器总线标准上 ,该技术已处于网络互联技术的领先地位。文章介绍了该标准和它在系统集成中的优点 ,讨论了一个半导体芯片厂在APC框架中通过集成智能传感器 ,使Internet/Intranet技术向下贯通到传感器层 ,明显加快了关键过程信息的采集 ,这一成就极大地简化了在工厂底层采用和支持智能传感器的技术 相似文献