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MEMS原子自旋陀螺气室芯片加工设备与工艺研究 总被引:2,自引:1,他引:1
原子自旋陀螺是基于原子自旋极化效应的一类陀螺仪,在实现高精度检测的同时,又具有小型化和批量化制造的潜力。本文针对原子自旋陀螺对气室芯片的高浓度补偿气氛要求,结合集成制造的技术趋势,设计制造了能承受20×101.325kPa气压的气室芯片专用键合装置。完成了集成RF线圈的6amagat Amagat为浓度单位,定义为1个大气压0℃情况下单位体积内理想气体的分子数浓度原子自旋陀螺用气室芯片的工艺流程设计并进行了工艺流片。流片结果获得了完整的气室芯片结构,漏率的检测结果为3.0×10-8 Pa·m3/s,验证了装置和工艺的可行性。 相似文献
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采用Gleeble-3500热模拟试验机研究了微碳钢在700~1100℃、0.01~10 s-1条件下的热变形行为。确定了其在铁素体区和奥氏体区的热变形方程。建立了微碳钢在不同应变量下的热加工图(Processing Map)。结果表明,在铁素体区和奥氏体区,试验钢的峰值应力大小基本相当;试验钢在铁素体区和奥氏体区的热变形激活能分别为302 kJ/mol和353 kJ/mol;不同真应变下的热加工图相似,当变形温度为875℃,应变速率为0.01 s-1时,能量消耗效率达到最大值为0.5。 相似文献
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CO2捕集是实现碳减排的重要技术之一。其中,化学吸收法是一种有效的、适用于低CO2分压的CO2捕集技术。开发出一种高效、低能耗、环保的吸收剂是该领域的研究难点和热点。离子液体(ILs)作为一类绿色溶剂,在CO2捕集中具有结构可调节、反应速率快、吸收量高等优势,但存在黏度大、价格昂贵等问题,本工作提出将超强碱离子液体1,8-二氮杂二环[5,4,0]十一碳-7-烯咪唑([HDBU][Im])与单乙醇胺(MEA)复配得到离子液体复配溶剂,来提高吸收剂的CO2吸收量并降低吸收CO2后溶剂的黏度。研究了离子液体浓度、吸收温度、CO2分压等对离子液体复配溶剂捕集CO2性能的影响,测定了离子液体复配溶剂在不同CO2负荷下的密度和黏度等物性。结果表明,30wt%MEA+10wt%[HDBU][Im]具有较好的吸收能力,在40℃下,CO2吸收量达到0.1453 g CO2 相似文献
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二维光码分多址通信技术的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了光正交码和二维光正交码的概念并对其性能进行了分析。分析了三种二维码OCDMA系统:T/S OCDMA、WDM OCDMA、MW OCDMA,并比较了它们的性能。 相似文献
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二维光正交码OCDMA系统编解码器的设计 总被引:2,自引:0,他引:2
文章提出了二维光正交码的概念并对其性有进行了分析,重点介绍了二维光正交码光纤延迟线编解码器的设计,并且给出了二维光正交码光纤光栅编码原理。 相似文献
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