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41.
反应磁控溅射制备氮化钽扩散阻挡层的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用反应磁控溅射在硅衬底上制备了TaN薄膜,研究了氮分压、溅射功率及衬底温度对薄膜晶体结构、表面形貌和电学性能的影响。结果表明,晶体结构随工艺参数的改变发生变化,GIXRD图谱衍射峰强度随溅射功率和衬底温度的增加而增强,氮气分压的增加使择优取向向(111)晶面偏移;TaN薄膜的表面形貌与溅射功率和氮气分压密切相关,与衬底温度的关系不大,其粗糙度随溅射功率的增加而增大,随氮气分压的增加而减小;TaN薄膜的方块电阻随溅射功率的增加逐渐减小,随氮气分压的增加逐渐增大,温度对方块电阻的影响不大;对Cu/TaN/Si互联体系热处理后发现TaN薄膜具有优异的阻挡性能,在600℃时依然可有效阻止Cu向Si的扩散。 相似文献
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43.
回顾了GaN单晶体的液相生长法研究进展,主要介绍了高压氮气溶液法(HPNSG)、Na助溶剂法以及氨热法的原理、生长条件及其研究进展。液相法可以制备相比于气相法更高质量的GaN晶体。其中HPNSG可以制备位错密度低于102cm-2的GaN晶体,氨热法可以生产出高质量的2英寸(1英寸=2.54 cm)GaN晶体,重点介绍了Na助溶剂法的生长设备及最新研究成果,目前该方法已经可以生长直径超过2 cm、高度约为1.2 cm的无位错块体GaN晶体。对液相法生长GaN晶体的应用前景进行了预测,认为液相法制备的高质量GaN晶体作为大功率、高可靠性GaN电子器件理想衬底,会发挥越来越重要的作用。 相似文献
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45.
改进化工原理实验的教学方法保证教学质量 总被引:1,自引:0,他引:1
化工原理实验是我校化工专业及相关专业必修的一门基础实验课程,为了使学生真正地学好这门实验课程,文章结合本校的实际情况,也参考了其他高校的教学方法,提出了一些可行的合理化建议,同时也总结了我校几年来的一些实践经验。 相似文献
46.
【摘要】 目的 对肝脏恶性肿瘤微波消融(MWA)术后MRI信号随时间的演变进行解读。方法 56例患者共56个肝肿瘤病灶,在MWA术后第2天、1个月、6个月行上腹部MRI平扫及增强扫描。观察不同时间点消融区T1WI、T2WI、DWI及增强扫描的信号变化,并判断是否存在肿瘤复发。结果 MWA后2 d,消融区在T1WI、T2WI序列表现为靶样结构,T1WI表现为中央高信号的消融坏死区与周围环绕的低信号带,T2WI表现为低信号的消融坏死区及周围环绕的高信号带;术后1个月及6个月消融区体积萎缩,T1WI及T2WI仍可见靶样结构,T1WI显示消融坏死区信号升高。增强扫描显示MWA后2 d,消融区周围存在异常高灌注,术后2 d、1个月及6个月消融坏死区均无强化。DWI序列显示消融后2 d,消融区周围反应性信号增高,术后1个月及6个月信号逐渐降低。结论 肝脏肿瘤MWA术后消融区信号变化是随时间演变的过程,对消融区MRI信号的正确解读有助于疗效判断及方案制定。
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47.
腐植酸在水产养殖中应用 总被引:2,自引:0,他引:2
本文概述了腐植酸在水产养殖中的作用机理和应用范围、效果,并展望了其发展前景,以期望为腐植酸的开发研究和推广应用提供帮助。 相似文献
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【摘要】 目的 对比肝动脉化疗栓塞(TACE)联合微波消融(MWA)与单独TACE治疗大肝癌的临床疗效。方法 计算机辅以人工检索国内外关于MWA+TACE与单独TACE治疗大肝癌效果对比的临床对照试验。纳入分析患者生存率和肿瘤反应及并发症。结果 符合条件的16篇文献1199例患者纳入分析。Meta 分析结果显示:TACE+MWA组1、2、3年生存率优于单独TACE组,差异均有统计学意义(P<0.01)。TACE+MWA组CR和PR高于单独TACE组,差异均有显著统计学意义(P<0.01)。TACE+MWA组SD和PD低于单独TACE组,差异均有统计学意义(P<0.01)。结论 TACE + MWA 对于大肝癌的治疗要优于单独TACE治疗。
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50.
【摘要】 目的 应用MR早期评估经皮微波消融(MWA)肝脏肿瘤的消融范围。方法 2015年1月1日至2016年1月31日,46例肝脏肿瘤患者[55个病灶,平均直径(26.0±5.3) mm]行CT引导下经皮MWA治疗。消融后第2天,MR评估消融疗效,记录消融范围(长径×短径),与微波厂家提供的参考值进行对比分析,并对消融并发症进行记录分析(消融不足或过度)。结果 术后第2天MR显示55个病灶均成功进行MWA治疗,无严重消融后即刻并发症发生。病例分布:60 W 5 min(n=4)、60 W 8 min(n=4)、60 W 10 min(n=14)、70 W 8 min(n=4)、70 W 10 min(n=11)、80 W 10 min(n=18),对应的消融范围分别为41.3 mm×31.2 mm、52.0 mm×36.3 mm、51.5 mm×34.3 mm、52.9 mm×35.5 mm、56.8 mm×36.1 mm、64.0 mm×44.0 mm。相比参考值均偏大,其中80 W 10 min组差异最大(64.0 mm×44.0 mm比54.0 mm×37.0 mm,P<0.01)。未观察到消融不足病灶,可观察到过度消融病灶12个,主要表现为消融范围累及肝包膜或皮下肌层。结论 术后MR早期复查可用于精准评估消融范围,本研究MWA作用范围比参考值大,术前精确预估消融范围有利于肿瘤的完全消融及提高消融的安全性。
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