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选用 Ba(C2 H3O2 ) 2 、Sr(C2 H3O2 ) 2 · 1/ 2 H2 O和 Ti(OC4H9) 4为原材料 ,冰醋酸为催化剂 ,乙二醇乙醚为溶剂。用改进的溶胶 -凝胶技术在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si基片上成功地制备出钙钛矿型结构的 (Ba1 - x Srx) Ti O3薄膜。该薄膜是制备铁电动态随机存取存储器、微波电容和非致冷红外焦平面阵列的优选材料 ;分析了薄膜的结构 ;测试了薄膜的介电和铁电性能。在室温 10 k Hz下 ,(Ba0 .73Sr0 .2 7) Ti O3薄膜介电系数和损耗分别为 30 0和 0 .0 3。在室温 1k Hz下 ,(Ba0 .95 Sr0 .0 5 ) Ti O3薄膜剩余极化强度和矫顽场分别为 3μC/ cm2和 5 0 k V/ c 相似文献
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(Ba1—xSrx)TiO3薄膜的制备及性能的研究 总被引:10,自引:0,他引:10
选用Ba(C2H3O2)2、Sr(C2H3O2)2.1/2H2O和Ti(OC4H9)4为原材料,冰醋酸为催化剂,乙二醇乙醚为溶剂。用改进的溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO2/Si基片上成功地制备出钙钛型结构的(Ba1-xSrx)TiO3薄膜。该薄膜是制备铁电动态随机存储器、微波电容和非致冷红外焦平面阵列的优选材料;分析了薄膜的结构;测试了薄膜的介电和铁电性能。在室温10kHz下,(Ba0.73Sr0.27)TiO3薄膜介电系数和损耗分别为300和0.03。在室温1kHz下,(Ba0.95Sr0.05)TiO3薄膜剩余极化强度的矫顽场分别为3μC/cm^2和50kV/cm。 相似文献
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