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钨插塞化学机械平坦化(CMP)是极大规模集成电路(GLSI)铜互连多层布线的关键工艺之一。首先研究了钨在碱性条件下化学机械抛光机理;接着采用单因素实验方法分析了抛光液组分中纳米SiO2水溶胶磨料、氧化剂、有机碱(pH调节剂)和表面活性剂对W-CMP速率的影响。最后通过正交优化实验,确定抛光液最优配比为V(纳米SiO2水溶胶)∶V(去离子水)=1∶1,氧化剂体积分数为20 mL/L,pH调节剂体积分数为4 mL/L,表面活性剂体积分数为20 mL/L时,此时抛光液的pH值为10.36,获得的去除速率为85 nm/min,表面粗糙度为0.20 nm。 相似文献
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结合辐射接枝聚合和化学修饰,通过三步处理,成功地制备了偕胺肟化尼龙66纤维。通过傅里叶红外光谱(Fourier transform infrared spectroscopy,FTIR)仪和扫描电子显微镜(Scanning electron microscopy,SEM)对初始的和修饰后的尼龙66纤维进行化学结构和微观形貌表征。结果表明,偕胺肟基团以共价方式连接到尼龙66纤维上。通过模拟核工业废水的吸附研究表明,PA66-g-PGMA-IDPAO纤维对铀酰离子有高的吸附效率(91.3%)和吸附选择性,具有巨大的潜在工业应用价值。 相似文献
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赵:前段时间,有外地的政府官员来津参观,表达出对图书馆的强烈兴趣,想把这个项目模式移植到当地.后来,问起这个图书馆在使用方面有什么问题,有没有需要改进的地方?我们就把图书馆给他介绍了一下,从使用上来说,群众用的还比较满意.感觉在一些空间的处理上,还有一些设备的结合上和噪音控制上;以及顶部的设备用房等方面,由于建筑总高度的控制,在立面上造成一些问题,顶上鼓出一些设备用房在室外了.我们当时预留了设备空间,由于空间变化设置了夹层,但没有考虑夹层这个因素,会出现一些问题. 相似文献
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本工作以双酚A型环氧树脂为研究对象,在1.5 MeV电子加速器下分别以18 kGy/h和2 250 kGy/h的剂量率对其进行辐照处理,以达到总吸收剂量135 kGy、270 kGy、500 kGy和1 000 kGy。系统研究了两种不同剂量率和不同吸收剂量对环氧树脂表面形貌、化学结构和热性能的影响。结果表明:电子束辐照环氧树脂时,高剂量率下环氧树脂内部会产生脉状裂纹,而总吸收剂量对树脂的热稳定性和力学性能影响较大;环氧树脂经电子束辐照后,玻璃化转变温度和交联密度下降,同时力学性能下降,表明辐射裂解占主导;电子顺磁共振光谱测试表明辐照过程中有烷基自由基和过氧自由基的产生,自由基浓度与吸收剂量呈正相关性。进一步研究了自由基在空气中的稳定性,随着存放时间的增加,自由基浓度最终趋于稳定。 相似文献
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聚氨酯/多壁碳纳米管复合薄膜的制备及其热稳定性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
通过溶液共混的方法制备出聚氨酯(PU)/多壁碳纳米管(MWNTs)纳米复合薄膜,重点研究了MWNTs的加入对PU热稳定性能的影响。结果表明,加入质量分数3%的MWNTs,使PU的耐热性得到一定的提高;用Kissinger方法得出的降解活化能由198.01kJ/mol提高到250.05kJ/mol,薄膜的力学性能得到改善,拉伸强度提高了63.5%,伸长率提高了4.2%;TEM分析表明,质量分数3%的MWNTs在PU/MWNTs纳米复合薄膜中得到均匀分散。 相似文献
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简述了电磁兼容性的含义及其对电子产品的影响 ,分析了产生电磁干扰的原因及其传输途径 ,介绍了电子产品电磁兼容性设计的一般方法。 相似文献
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NTN(Non-Terrestrial Network)是面向卫星通信和低空通信的重要应用场景,标志着5G技术应用从陆地通信走向了空间通信,可以预见卫星网络将是未来6G通信网络中重要组成。为了满足卫星通信质量要求、最大程度地增大系统容量,需要应用自适应编码调制技术根据信道状态信息在不断变化的通信环境下动态调整调制阶数和编码码率。人工智能在解决卫星高动态场景下信道条件快速变化所产生的问题具有明显的潜力。采用基于强化学习的低轨卫星自适应编码调制策略,解决了卫星通信环境的变化造成的门限表与实际信道不匹配的问题,与传统ARIMA (Autoregressive Integrated Moving Average)算法相比提升达到20%以上。 相似文献
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针对微纳遥感卫星从技术试验阶段到业务化应用的转型发展,如何缓解其能量来源的受限条件,获取更高的太阳能充电效能,对微纳遥感卫星未来星座构建的发展需求有重要作为。通过设计不同构型的微纳卫星太阳翼,构造太阳电池阵列的仿真模型,根据太阳能电池阵列在微重力空间下的工作特性,仿真分析微重力空间下不同构型太阳翼的充电性能和充电效率,并对不同构型的使用性能进行了分析比较,结果表明,选择最优太阳翼构型能够为微纳遥感卫星提供更好的能源和动力支撑,为后续微纳遥感卫星开展更多商业应用提供有效参考。 相似文献
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为实现酸性溶液中Au(Ⅲ)的选择性回收,本研究以聚乙烯/聚丙烯(PE/PP)皮芯结构无纺布为基材,通过丙烯腈与丙烯酸的辐射接枝以及硫化钠改性制备得到含硫代酰胺基和羧基的双官能化无纺布吸附材料。通过红外光谱、热重分析、扫描电镜、能谱分析、接触角测定、X射线光电子能谱和X射线衍射等测试对改性无纺布的结构与性能进行表征。通过批量吸附试验对改性无纺布的吸附性能进行测定。结果表明:改性无纺布在较宽pH范围(2~7)内具有良好的Au(Ⅲ)吸附能力;在共存金属离子体系中具备良好的Au(Ⅲ)选择性,选择系数介于55.00~2 429.17,金回收率可达98.5%;改性无纺布的饱和Au(Ⅲ)吸附容量为133.91 mg/g,吸附行为符合准二级动力学和Langmuir等温吸附模型;Au(Ⅲ)在吸附中可被还原为以晶体形式存在的Au(0);通过对吸附后样品的简单高温处理可去除吸附材料,实现金的回收。 相似文献