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对磁控溅射ＰＺＴ铁电多层薄膜进行了分析。结果表明：通过多层薄膜合理的设计和厚度控制，可以改善薄膜进一步的器件应用提供了可能性。通过研究发现，制备多层较理想的溅射条件是衬底温度Ｔ＝６５０℃，薄膜子层厚度约为３００ｎｍ，衬底则以ＭｇＯ（１００）单晶、Ｓｉ２（１００）单晶为佳。结构分析的结果显示出：ＰＺＴ以铁电膜中的晶粒排列整齐，颗粒大小均匀，基本上和衬底成定向织构，膜的角度对多层膜的绝缘性能影响不大， 相似文献
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1、前言目前,打桩机和钻孔机应用机电一体化技术主要体现于如下两方面,一方面是使施工管理的数据收集、累计、整理、记录等繁杂的事务管理工作更趋合理和省力。另一方面是将操作者进行作业时所需的信息——回转载荷、挖掘深度、升降速度等作业数据自动检测、报告、记录,然后自动控制,以实现操作容易、简便。 相似文献
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本文系统地论述了点阵式液晶显示器(LCD)的原理、基本结构、控制电路和它在无中心电台单片机控制中应用的可行性研究结果,为研制国产化的移动通信系统提供了技术基础。 相似文献
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光电薄膜器件的膜厚是一个重要性能参数,通常用干涉仪和椭圆偏振仪测量,但它受到了光波波长和透明度的限制。根据电子光学原理,应用现代X光能谱技术,在MonteCsrlo电子轨迹法推导的数学模型和函数的基 相似文献
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