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针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5,145cycles/mm处的调制传递函数(MTF)大于0.58,充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法,模拟加工装配了100组镜头,设定空间频率为145cycles/mm时,90%的镜头FMTF>0.55,验证了加工装配实际可行。 相似文献
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延迟焦化装置加热炉过剩空气量不仅影响其热效率,还影响加热炉的运行周期。介绍了加热炉炉管结焦机理,分析了影响加热炉炉管结焦的影响因素,利用专业的焦化加热炉工程设计软件,考察过剩空气量对焦化加热炉对流段和辐射段热负荷、炉管表面热强度、炉管管壁温度及火焰燃烧温度的影响,同时分析了对焦化加热炉炉管运行周期的影响。通过考察,某石化公司延迟焦化加热炉过剩空气量从5%(y)提高到13%(y),炉膛温度由715.8℃降至709.4℃,炉管管壁温度由510.3℃降至505.8℃。结果表明:过剩空气量稍高可适当降低辐射炉炉管的表面热强度,从而降低辐射炉炉管的表面温度及辐射炉炉管内的结焦倾向,延长运行周期。 相似文献
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74.
合成了一种联噻唑聚合物SPD及其Cu2+配合物。探索了温度和反应时间对SPD产率的影响。利用红外、元素分析、X射线能谱仪对其结构进行了表征。研究显示,在100℃温度下反应6h,产率达最大,为79.5%。热重分析表明聚合物具有较好的热稳定性。常温下测定SPD和SPD-Cu2+的电导率和磁滞回线,结果表明SPD配位Cu2+后电导率下降。SPD是一种反铁磁体;SPD-Cu2+是一种软铁磁体,矫顽力为5.25kA/m,剩余磁场强度为0.00105A·m2/kg,饱和磁化强度为0.029A·m2/kg。 相似文献
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通过人脸检测的方式实现人群计数统计,采用了基于Anchor上下文辅助的目标检测算法.针对特定的教室场景收集了大量的课堂图像信息样本,并予以标记,以扩展Wider Face数据集.经多次训练,不断调整参数,最终获得最佳教室人脸检测模型.通过实际教室人数统计实验,检测出教室人脸数,进而得到教室人数状态信息.结果验证了该算法... 相似文献
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