用矢量网络分析仪及探针台测试半导体芯片参数

随着半导体顺件的不断发展，微波技术占据越来越重要的地位，我所引进的矢量网络分析仪及探针台对半导体睛Ｓ参数测试，避免了键合引线，管壳和夹具带来的误差，正确反映了芯片的性能，是一种重要测试手段，本文论述了测试原理和测试方法，并对实测数据比对与误差分析。