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发展了一种与CMOS工艺完全兼容并可在商业化的1.2μm标准CMOS生产流水线上进行流片的硅基热电堆真空传感器的制造技术与流程.传感器为悬浮的多层复合薄膜结构,其上制作了n型多晶硅加热器和20对由p型多晶硅条和铝条构成的热电堆.利用标准制造工艺中铝层图形的掩蔽作用,使用干法刻蚀工艺一方面去除了传感器表面的SiNx层,使复合介质薄膜减至三层介质,即场氧化层、硼磷硅玻璃和层间介质,从而提高了传感器响应率;另一方面去除了传感器区域内腐蚀孔中的多层介质,将其中的硅衬底裸露,以便完成后续的四甲基氢氧化铵(TMAH)体硅各向异性腐蚀工艺,使传感器成为悬浮绝热结构,这种工艺具备铝保护性能,因此腐蚀中无需任何掩模.最终得到的器件尺寸为124 μm×100 μm,在空气压强为0.1 Pa~105 Pa之间的响应电压为26 mV~50 mV,响应时间为0.9 ms~1.3 ms.这种器件的制造技术具有工艺简单、成品率高、成本低、重复性好等特点. 相似文献
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性能评估及异常检测是风电机组健康状态监测的重要手段。以往风电机组性能评估较少考虑性能监测数据的时序性及多变的运行工况,导致模型评估的准确度低,且未根据整机性能确定与异常相关的功能模块,使得检修成本高。针对上述问题,提出了一种基于长短时记忆—自编码(LSTM-AE)神经网络的风电机组性能评估及异常检测方法。该方法首先采用长短时记忆神经单元与自编码网络构建性能评估模型,以计算用于评估风电机组性能状态异常程度的指标,通过与基于支持向量回归计算的自适应阈值对比,识别性能异常点。然后,利用高斯Copula熵估计不同性能监测参数与该指标的互信息值,来确定关键性能监测参数,并映射至风电机组功能模块。实验结果表明,所提方法能有效处理具有时序特征的性能监测数据,并提高异常检测的准确性。 相似文献
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教育学生学会做人是学校教育的根本出发点和落脚点,党员意识在实质上也是一种做人意识。把党员意识教育与做人教育有机统一起来,把党性教育和人性教育有效结合起来,能够增强教育的感召力和实效性,促进学生的全面发展。 相似文献
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教育学生学会做人是学校教育的根本出发点和落脚点,党员意识在实质上也是一种做人意识.把党员意识教育与做人教育有机统一起来,把党性教育和人性教育有效结合起来,能够增强教育的感召力和实效性,促进学生的全面发展. 相似文献
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