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在GaAs背孔工艺制作中,通孔良率影响着后续溅镀、电镀金属层与正面金属互联,在该道关键制程中缺乏有效的监控方法。在背孔工艺中,采用FIB、SEM的方式对ICP蚀刻后的晶圆进行裂片分析,这无疑大大增加了研发成本,裂片分析也仅仅是当前晶圆的通孔良率,且分析孔洞数量有限,本身存在局限。提出在晶圆正面依次沉积Si3N4/PI/Si3N4=600 nm/1.6μm/800 nm,采用ICP蚀刻,蚀刻气体为Cl2/BCl3,在光学显微镜(OM)20倍率下便可观察到晶圆正面第一特征蚀刻通孔印记和印记尺寸较原始尺寸单边大10μm的第二通孔特征,该监控方式节省研发成本且统计良率直观,可及时反馈通孔良率,监控产品的可靠性、可再现性。 相似文献
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随着原油劣质化、含硫原油比例增大,部分大中型石油石化企业在每年停工吹扫、生产装置异常或污油管线退油时,大量的含硫、含氨等恶臭汽排放到大气中,严重的污染环境,影响着人体健康。采用高效吸收剂,二级旋流吸收新工艺,可以将各种恶臭气体中的硫化氢、硫醇、硫醚等恶臭物质除去,使炼厂排放气实现达标排放。 相似文献
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“博物馆的建设理念太落后,里面尽挂些板着脸孔的教科书……”一位游客大失所望。如今,大多数博物馆门可罗雀,观众寥寥。可在武强年画博物馆里,看到的却是另外一番景象…… 相似文献
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“博物馆的建设理念太落后,里面尽挂些板着脸孔的教科书……”,一位游客大失所望。如今,大多数博物馆门可罗雀,观众寥寥。可在武强年画博物馆里,看到的却是另外一番景象……[编者按] 相似文献
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作物全生命周期的标准生长模型建立是指导获得最佳作物“处方” (作业精准决策、执行)的必要手段. 智能作物生育期识别技术是构建作物标准生长模型的重要技术之一. 在呼伦贝尔大河湾地区大面积规模化的作物种植形势下, 基于传统人工经验或单一传感器进行作物生育期表型数据采集、识别的方法会导致采集范围局限、识别效率低等问题. 针对上述问题, 对整体系统提出了一系列的改进. 首先, 在数据采集阶段, 提出了一套完整的“空-地-人”一体化作物表型数据采集体系. 另外, 在数据分析阶段, 根据作物不同表型数据, 提出了一种改进的智能作物生育期识别体系. 提出的生育期识别系统能够实时精准地提供当前作物生育期阶段, 为建立作物全生命周期的标准生长模型奠定了优良的基础. 相似文献