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171.
172.
为提高微沟槽吸液芯的毛细性能,采用V字扫描法在紫铜板上刻蚀非等截面微沟槽,研究激光光斑间距、扫描速度、扫描次数、脉宽和频率等工艺参数对非等截面微沟槽形貌尺寸的影响规律。研究发现,随着激光光斑间距增大,沟槽宽度也随之增大,沟槽深度呈现先增大后减小的趋势,沟槽表面粗糙度则先减小后增大;V字扫描法的路径间距在10~30μm时刻蚀出的沟槽形貌最佳且两端毛细压力差较大;当激光扫描次数为50次,扫描速度为100 mm/s,频率40 kHz,脉宽120 ns时,纳秒激光刻蚀的非等截面沟槽两端毛细压力差较大。该研究可为提高沟槽式均热板的传热性能提供参考。 相似文献