多晶硅注氮制备4.6nm超薄栅介质

为了改善深亚微米CMOS器件p+-poly栅中硼扩散问题,通过选择合适的注氮能量和剂量,采用多晶硅栅注氮工艺,既降低了硼在多晶硅栅电极中的扩散系数,又在栅介质内引入浓度适宜的氮,有效地抑制了硼在栅介质内的扩散所引起的平带电压漂移,改善了Si/SiO2界面质量,提高了栅介质和器件的可靠性,制备出了性能良好的4.6nm超薄栅介质.     

超薄SiO_2栅介质厚度提取与分析

在分析半经典模型和量子模型的基础上,得到包括量子效应和多晶硅耗尽效应的栅氧厚度提取模型.栅介质厚度模拟结果和椭偏仪所测实验结果吻合良好.     

多晶硅注氮制备4.6nm超薄栅介质

为了改善深亚微米CMOS器件p+ - poly栅中硼扩散问题,通过选择合适的注氮能量和剂量,采用多晶硅栅注氮工艺,既降低了硼在多晶硅栅电极中的扩散系数,又在栅介质内引入浓度适宜的氮,有效地抑制了硼在栅介质内的扩散所引起的平带电压漂移,改善了Si/Si O2 界面质量,提高了栅介质和器件的可靠性,制备出了性能良好的4 .6 nm超薄栅介质.     

绝缘电阻对应变测试的影响

江南霉雨天气,大气的相对湿度常在98%以上。用应变片进行应变测试时,即使对应变片采取防潮措施,也往往不能保证其绝缘电阻在50兆欧以上。八○年五月至六月间,我们对桂林橡胶机械厂55时双模定型硫化机进行产品定型校核测试时,虽然我们用石蜡、松香、黄油的混合防潮涂料对应变片进行防潮保护处理,但仍遇到应变片绝缘电阻严重下降的问题,     

高空倾斜断裂塔式起重机恢复技术应用

针对高空倾斜断裂塔式起重机恢复技术特点,研究高空塔式起重机拆卸技术。阐述倾斜断裂塔式起重机加固技术、屋面式起重机钢结构基础构造及其与钢筋混凝土结构的连接方式,通过BIM技术模拟施工,对屋面式起重机钢结构基础及剪力墙固定器进行设计,对施工中出现的问题采取创新处理方式,达到降本增效目的,并总结施工注意事项。     

浅谈房屋建筑排水工程施工质量控制

近年来,房屋建设项目排水工程质量要求随着人们的生活水平在不断提高。但快速发展的过程中必然存在一些问题,房屋建设项目排水工程的质量影响到整个项目的进行。只有严格管理施工过程,才能保证其工程质量,满足房屋建设项目的需求。     

发展化纤的经验总结——我国第一部“化学纤维工业词典”已通过审稿

我国第一部“化学纤维工业词典”于9月16～21日在江苏常熟碧溪镇通过审稿。参加审稿的有来自全国有关大专院校、研究所,企业共21个单位30名教授专家。审稿会由纺织工业     

从化纤企业排放废气中净化H_2S的无废料工艺

净化排放废气中的H_2S,实际上是采用苯二酚和酞菁钴为催化剂的氧化催化过程(用碱性苯二酚和碱性酞菁)。这些氧化催化过程,对用相同构造形式的设备和用碳酸钠与碳酸氢钠液作缓冲液吸收H_2S都是一样的。所不同的是在相同的pH值吸收液中,被吸收的H_2S氧化到元素硫的选择性和催化剂的活性。酞菁钴具有较高的催化活性,即使在溶液中含量较少,也能实现     

粘胶纤维生产中废料的综合净化

目前人纤企业中的废水处理多以机械化学净化方法,用一部分酸性废水来中和碱性废水。该工艺路线的不足之处在于所采用的试剂成本高,同时水的净化度又不令人满意。采用这种方法来净化废水,以及用酸或热水解来分解废水中的纤维素黄酸酯,并除去其分解后的废物,这已是众所周知的,然而在这种情况下,尚不可能解决接触式蒸发所释