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Si基体上双层Ti—O薄膜的XPS和AES分析研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用沉积-离子轰击-沉积工艺制备了双层Ti-O薄膜,并利用XPS和AES对膜层进行了深度分析。结果发现:在氩离子轰击后的薄膜上再沉积同质薄膜,在膜表层一定厚度内可得到具有化学配比的TiO2薄膜;氩离子的轰击使钛太碳氧化物内迁入Si基体,而Si外迁到膜内,并造成多价形式的Ti氧化物共存,TiO2在这些Ti氧化物中所占的比例随沉积膜深度呈现先逐渐减少而后又逐渐增大的分布规律;此外,氩离子的轰击使得薄膜 相似文献
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跨长江葛洲坝三江二号和三号船闸的两座铁路公路活动桥,采用以滑差电机作为主拖动的电气二点同步方案。由于铁路活动桥在我国还无先例,因此在试验室内,用模拟负载代替实体桥(即接近于用实体桥作负载)进行了中间试验。这样既节省了试验经费,又赢得了时间。两座活动桥在1981年6月通航之前,已安装调试完毕,投入运行。至今已运行半年多,共操作1千余次,工作正常可靠,这说明设计方案是正确的,试验是成功的。 相似文献
63.
离子束—电子束—原子束结合沉积技术制成膜的形貌特征 总被引:2,自引:0,他引:2
简要介绍离子束-电子束-原子束结合沉积技术的原理及特点,并对该技术制备的各种合金、陶瓷以及复合膜的形貌特征进行了分析研究。 相似文献
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通过对页岩气藏进行分段压裂,提高导流能力和增加有效渗流面积,是获得较高的产能有效途径之一。分析我国页岩气技术的发展现状得到,进行页岩气开采时,利用水平井压裂技术,可一定程度的提高页岩气开采量,也可提升页岩气返排率。随着科技的不断发展,目前世界上对于水平井分段压裂技术的研究较为广泛。由于页岩气储层内,扩散、渗流、解吸相互作用较为强烈,导致渗流类型的储层中,页岩气的开采非常困难。因此,本文重点对页岩气的研究现状、完井技术、压裂技术等进行详细论述,对未来该领域的发展趋势进行预测,从而为我国水平井分段压裂技术的发展提供理论依据。 相似文献
68.
广西来宾市区域电网改造的过程中增加了机网协调系统,为实现机网协调,处于发电侧的来宾电厂DEH及励磁系统需要进行同步改造,改造方式是发电侧各系统增加与机网协调的交互信号并对本系统的逻辑进行修改。笔者介绍了改造后机网协调与DEH的具体分工,并对改造中DEH和励磁系统增加的信号和逻辑修改方案做了详细说明。系统改造已经完成,机组已并入区域电网运行,电厂将根据机组的实际运行情况对控制系统的逻辑做进一步的修改及完善。 相似文献
69.
有序介孔有机硅固体酸纳米反应器的构建过程中,通过孔道缩短剂Zr(IV)离子、扩孔剂三甲苯(TMB)以及丙基三甲氧基硅烷(MPTMS)的引入来调整有机硅固体酸纳米反应器的形貌及孔道结构。结果发现:在有序介孔有机硅固体酸纳米反应器的合成参数中,TMB可以有效地增加孔径,Zr(IV)离子能够缩短孔道长度,而同等合成条件下,MPTMS的量将是影响其各项孔结构参数的重要因素。有序介孔有机硅固体酸纳米反应器在果糖脱水生成5-羟甲基糠醛中的应用研究结果表明,适宜增加合成过程中MPTMS的量可以增加引入有序介孔有机硅固体酸纳米反应器中的活性位的量,但过量则会破坏其有序机构,同时研究还发现,扩孔剂TMB的加入可以有效平衡活性位的量与适宜孔道结构之间的关系,从而构建出性能最优的固体酸纳米反应器。 相似文献
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