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为了解决现有硅刻蚀工艺中存在的刻蚀质量等问题,采用激光加工技术和电化学加工技术相结合的工艺对硅进行了刻蚀,研究了该复合工艺的工艺特性。实验中采用248nm-KrF准分子激光作光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,研究了激光电化学刻蚀Si的刻蚀孔的基本形貌,并对横向刻蚀和背面冲击等质量问题进行了分析。结果表明,该工艺刻蚀的孔表面质量好、垂直度高;解决了碱液中Si各向异性刻蚀的自停止问题,具有加工大深宽比微结构的能力;也具有不需光刻显影就能进行图形加工的优越性。 相似文献
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最短路径算法是智能车辆路径规划问题的核心内容。从道路网络拓扑结构的自动构建以及Dijkstra算法中快速搜索技术的实现入手,综合考虑核心算法和数据存储结构两个方面,提出了直线优化Dijkstra算法。该算法能够有效降低时间复杂性,提高系统的效率。 相似文献
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有线电视网络由于电视传输是基本的业务,由过去的同轴电缆传输发展到光纤同轴混合网(HFC)传输。HFC网络对多业务传输具有许多优势,也存在一些困惑,如何正确认识优势和困难,以及与业务发展的相关方向的问题呢?以下笔者根据业务要求和营运成本为讨论的基本原则,分析了HFC网络的技术特点和适应性。 相似文献
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在分析传统调制解调级硬件抽象层(Modem Hardware Abstract Layer,MHAL)路由方法局限性的基础上,提出了一种多总线结构MHAL路由方法,并详细介绍了该方法的设计实现及验证。基于多总线结构MHAL路由方法在不违反软件通信结构规范的前提下,解决了传统方法不能解决的处理器间多总线路由、处理器多端口路由以及数据包路由转发问题。该技术已在某大型软件无线电系统中得到应用。 相似文献
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为实现对空间机动目标的可靠拦截,研究防空导弹制导盲区情况下常规破片战斗部的制导和引信及战斗部一体化设计方法。在已知目标最大机动能力作为先验信息条件下,通过目标最大机动能力估计制导盲区内目标潜在运动的状态集合;建立破片飞散的数学模型,根据目标状态集合和破片飞散特性求解防空导弹最佳交会状态和引信最佳起爆时间;采用Gauss伪普法,以末端弹目相对位置、弹目视线角和速度矢量夹角作为约束,求解导弹实时最优控制输入,使防空导弹到达最佳拦截位置。仿真分析结果表明,所提制导和引信及战斗部一体化设计方法能够实现引信最佳起爆控制和目标可靠拦截,对战斗部设计提供了依据。 相似文献
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