等离子体刻蚀工艺中的OES监控技术

采用光学发射光谱(OES)原位检测技术,对等离子体刻蚀机中的等离子体状态进行实时监控,讨论了其在故障诊断、分类、刻蚀终点的判断及控制方面的应用。实验平台为在新研发的高密度等离子体刻蚀机,采用化学气体HBr/Cl₂为刻蚀气体进行多晶硅刻蚀工艺实验,实验过程中所采集的OES数据通过PCA法进行分析,得到与刻蚀过程相关的特征谱线。实验结果表明：OES技术适合于深亚微米等离子体刻蚀工艺过程的终点检测及故障诊断。最后就OES技术未来发展面临的挑战进行了讨论。     

基于改进U-net的金属工件表面缺陷分割方法

针对金属工件表面缺陷分割精度低的问题,通过对工件表面图像缺陷特征研究,提出以U-net为基础,结合多尺度自适应形态特征提取模块及瓶颈注意力模块的工件表面缺陷分割模型。首先,在网络中嵌入多特征注意力有效聚合模块,提高信息的利用率,提取更多相关特征,从而高精度地提取缺陷目标。然后,在网络中引入瓶颈注意力模块,增加缺陷目标的权重,优化特征的提取,获取更多的特征信息,从而获得更好的分割精度。改进后的网络平均精度达到0.8749,比原网络相比提高了2.92%,平均交并比达到0.8625,提高了3.72%。与原始网络相比,改进后的网络具有更好分割的精度,可以获得更好的分割结果。     

不同结构长波红外探测器组件的MTF分析

红外探测器组件作为目标探测和成像系统的核心器件,其空间分辨能力直接影响着探测系统的成像质量.评估探测器组件空间分辨能力时,常使用调制传递函数(MTF),而不同的探测器组件结构与其MTF直接相关.介绍了一套弥散斑直径为30μm的红外小光点测试系统,采用扫描狭缝法测试不同结构红外探测器组件的MTF.测试结果表明叠层电极结构侧面存在的光响应会导致线扩散函数(LSF)展宽和次峰等现象,从而造成探测器组件MTF下降,同时0.17 mm和0.30 mm两种芯片和滤光片间距对于探测器组件MTF的影响甚微,该结果为红外探测器组件杂光抑制设计提供了参考.     

低维半导体异质结构光电探测材料及器件验证

面向国家"战略性先进电子材料"的发展目标,以国家重大战略需求,如全球气候观测、农林普查、国土资源探测、环境监测、深空探测和天文观测等领域的技术发展中面临的光探测器瓶颈问题为突破口,瞄准半导体材料及其光探测器正在朝全光谱覆盖、大面阵、高灵敏等方向快速发展的国际态势,开展低维半导体异质结构材料与光电器件研究,发展该体系材料人工设计精细调控的关键技术,推动多波段多种类型的光电探测器技术进步,促进我国经济、社会、国家安全及科学技术的发展.     

图像采集压缩和高清分析并行处理的硬件系统设计

将DSP与FPGA结合,设计一种对CMOS图像传感器进行图像采集和处理的硬件系统。该系统能够在硬件层面把图像分路处理,一路直接压缩后传输,另一路循环存储到多帧高清图像存储区,便于软件分析,较好地解决了传输带宽不足与智能监控需要高分辨率图像进行分析处理的矛盾需求。该系统具有高清图像实时采集处理的优点和硬件平台通用性,可用不同软件实现不同的图像分析处理。     

蓄热电热锅炉的市场前景和发展方向

根据我国的能源和环保政策,结合我公司近几年来的生产实践,对国内目前电热锅炉的市场前景进行了分析,并就电热锅炉的发展方向提出了自己的见解。     

星载红外遥感仪器辐射定标用微机数据采集及控制系统

本文简要介绍了星载红外遥感仪器辐射定标系统的结构,报道了利用微型计算机测量控制黑体温度、数据同步采集及微型计算机之间的协调控制,数据传递和处理的方法。     

战术电台发展趋势

良好的通讯联络对于有效地打一场战术性战争是至关重要的。现在有不少文章吹捧跳频和别的一些先进技术的效能,结果给人造成这样的印象,似乎所有军队都乐意看到自己的通讯系统占有高标准的技术优势。当然,实际情况并非如此,许多国家的部队还是喜欢比较老的装备,特别是一些西方国     

聚烯烃透明化添加剂DBS合成研究 Ⅰ 小试研制

本文介绍了山梨糖醇和苯甲醛缩醛化制备二亚苄基山梨糖醇(DBS)的实验研究结果。实验研究了进料摩尔比、催化剂、反应时间、反应促进剂、搅拌速度对反应结果的影响,也研究了DBS产品的精制方法。     

双门限恒虚警处理器的熵损耗

本文把熵和熵损耗的概念应用于双门限恒虚警检测系统中,计算了秩二进积累(RQ)非参量检测器和单元平均值检测器输出端的熵和系统熵的损耗,并得出了这些检测器在熵损耗最小条件下的最佳门限。