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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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在基于POSC标准的基础上,分析了POSC EPICENTER数据模型,对油田中普遍使用的LS716测井大块数据在磁盘和远程自动磁带库之间实现了一体化的数据管理,开发了数据加载,数据删除,头信息浏览线回施行能模块。该系统特点是,管理信息加载到POSC数据仓中,而真正的数据体以外部数据文件的形式存放,使得大块数据的加载和提取速度大大提高,同时,在数据仓库和远程带库之间实现了一体化的数据管理。 相似文献
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STEP-NC是由欧美提出的新的数控接口标准,目的是取代旧的数控标准ISO6983。本文首先分析了STEP-NC的两种应用标准:ISO14649(ARM)和STEPAP238(AIM),并且分析了Part21和Part28的应用领域及Part21文件格式和其中的信息产生方法。然後介绍了ST-Developer环境下ROSEC++颠库编程接口及其应用程序的早、晚编联方式,并且以此为基础设计了整个程序的编程流程,重点介绍了工艺规划设计。最后给出了在C++编程环境下利用ROSE库函数写入形成STEP AP238文件的方法。 相似文献
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CAD/CAM在注射模设计中的应用 总被引:7,自引:0,他引:7
以Pro/E、Moldflow软件为例,对CAD/CAM技术在注射模设计中的应用进行了研究和探讨,总结了使用该软件的一些体会,阐述了注射模CAD/CAM技术的发展趋势。 相似文献