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Ma Z.J. Chen J.C. Liu Z.H. Krick J.T. Cheng Y.C. Hu C. Ko P.K. 《Electron Device Letters, IEEE》1994,15(3):109-111
It has been reported that high-temperature (~1100°C) N2 O-annealed oxide can block boron penetration from poly-Si gates to the silicon substrate. However, this high-temperature step may be inappropriate for the low thermal budgets required of deep-submicron ULSI MOSFETs. Low-temperature (900~950°C) N2O-annealed gate oxide is also a good barrier to boron penetration. For the first time, the change in channel doping profile due to compensation of arsenic and boron ionized impurities was resolved using MOS C-V measurement techniques. It was found that the higher the nitrogen concentration incorporated at Si/SiO2 interface, the more effective is the suppression of boron penetration. The experimental results also suggest that, for 60~110 Å gate oxides, a certain amount of nitrogen (~2.2%) incorporated near the Si/SiO2 interface is essential to effectively prevent boron diffusing into the underlying silicon substrate 相似文献
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受干扰波相位测量的一种新方法 总被引:4,自引:1,他引:3
为了测量受噪声和谐波干扰的两个信号间的相位差,基于自适应带通滤波器(ABF)和测量信道交换技术,提出了一种新的测量方法。ABF采用可编程开关电容滤波器(PSCF)和锁相环,明显地抑制了噪声和谐波干扰,频率跟踪范围超过四个倍频程(0.5Hz-6kHz)。用微处理器控制4个开关来交换测量信道,可以基本上消除测量通道引入的附加相位移。两种方法结合提高了相位差的测量精度。实验说明了该测量方法的有效性,该方法也适合于被测信号为慢时变情况。 相似文献
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以上海市沪闵路高架道路二期工程SW匝道曲线箱梁设计为例 ,对曲线梁的内力特点及调整方法作了初步探索。 相似文献
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G19井区为姬塬油田主力产建区域,其低阻油层成因复杂,类型多,近几年解释困难较多,解释符合率偏低。本文从该区低阻油层特征分析入手,总结出该区油藏特征规律,并归纳出适合该区的几种有效实用的测井解释方法。 相似文献
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介绍了一种用可编程控制器(PLC)实现捆扎机自动控制的设计方案,详细地介绍了设计过程,给出了完整的程序流程图和部分控制程序。 相似文献