用于LDD和SST的SiO2边墙干法腐蚀工艺研究

本文从干法腐蚀角度出发,首先从数学上分析了多晶硅角度,SiO_2边墙的宽度和高度,衬底损失与各工艺参数间的关系,指出边墙的宽度和高度分别取决于多晶硅的角度和过腐蚀量。在Tegal1512e设备上,采用Cl_2、SF_6、N_2混合气体,开发了多晶硅干法腐蚀工艺,讨论了LDD的正胶掩膜及SST的SiO_2掩膜对工艺的不同影响。SEM分析发现了SF_6气体腐蚀的各向同性。在Tegal903e设备上,采用CHF_3、SF_6、He混合气体,开发了SiO_2边墙干法腐蚀工艺,研究了腐蚀的各向异性,辐射损伤,选择比,均匀性及重复性的控制方法。取得的工艺结果为,腐蚀速率(?)_(sio_2)≈400nm/min,均匀性U≤±5％,选择比S_(f8)>10,工序能力指数C_p>1。     

软切换FSO/RF链路混合编码调制算法性能分析

将自由空间光(FSO)通信链路的高速率优势与射频(RF)链路的可靠性优势互补结合,针对FSO/RF混合通信链路组网的物理层数据可靠传输问题,研究软切换机制下采用LDPC混合编码与2-PPM和16QAM调制的系统方案性能。混合系统FSO链路在Gamma-Gamma信道不同湍流强度与RF链路在Rician信道不同信噪比条件下的仿真结果表明,所述方案在软切换下达到1×10~(-6)误比特率时,不同条件下可获得1.3~8.0 dB不等的性能增益改善,显著提高在不同链路条件下FSO/RF混合通信系统的数据传输可靠性。     

用一个初始状态生成伪穷尽测试集

本文给出了一种适合于级敏扫描方法（ＬＳＳＤ）的伪穷尽测试集生成方法。通过测试码生成电路中增加状态跳变控制电路，使得只需要一个初始状态就可生成整个伪穷尽测试集。由于这个特点，消除了必须在ＲＯＭ中存储多个初始状态的要求，从而简化了测试控制电路及测试过程。     

高稳定Ka波段微带耿氏振荡器

报道了一种使用介质谐振器稳频的高性能和高稳定的Ka波段全微带GaAs Gunn振荡器。在33GHz下,输出功率高达170mW,频率稳定度为9.7ppm/℃。     

空间交叉CARS测量NO气体的温度

测量了不同温度下NO气体的空间交叉相位匹配CARS光谱,并将其与理论计算谱进行拟合,从而实现了用CARS方法测量系统中点的温度。     

MCT列阵光电性能参数自动测试系统

本文介绍了霍尼威尔公司电光分部研制的MCT光电导列阵自动测试系统和洛克希德公司Palo Alto研究实验室研制的焦平面列阵光电参数的自动测试站。检测的光电性能参数包括光电响应率,响应光谱,噪声,探测器的RA乘积,响应频谱,光学串音和电学串音,响应率的空间频谱,调制传递函数等。     

软X射线多层膜的光学性质和优化设计

一、引言 X射线多层膜是X激光和X光学的重要元件。近几年,不论在理论上还是在技术上,都得到了较快发展。 从X光晶体衍射角度出发,X射线多层膜可看作超晶格一维人工晶体。从薄膜光学出发,X射线多层膜是一类光学薄膜。这种薄膜的膜层很薄,折射率都接近1,并存在一定的吸收。X     

激光与DNA作用的非线性扰动方程的研究

将激光与ＤＮＡ分子系统相互作用的运动方程化成Ｄｕｆｆｉｎｇ方程，进行了主共振、超谐波共振及两频激励组合共振的分析．从而成功地解释了激光育种中存在的一些难以理解的现象     

高效Nd:S-VAP激光器的特性研究

报道了激光二极管泵浦高效ＮｄＳ－ＶＡＰ激光器输出特性的研究结果。激光晶体掺钕浓度为～３％，厚度为２．６ｍｍ，基横模输出功率为２３３．０ｍＷ，斜率效率为４２．２％     

Optimization of connecting two communication networks subject to a reliability constraint

This paper considers optimization of two networks with a reliability constraint. The objective is to find some links to connect two networks, at a minimal cost, under the constraint that the system reliability of the resultant network is not less than a given level. A decomposition method based on branch and bound is used for solving the problem. In order to speed up the solution procedure, an upper bound on system reliability in terms of node degrees is applied. In particular, when the threshold P_o is large enough, a new algorithm, the cut tree algorithm, can more effectively give an optimal solution.