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971.
光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作 总被引:5,自引:1,他引:4
随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究,并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作,在普通光学光刻机上制作出宽度小于0.25μm细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米MOSFET的制作中。 相似文献
972.
聚六亚甲基碳酸酯二醇增韧环氧树脂的结构与性能 总被引:6,自引:0,他引:6
采用羟基封端的脂肪族碳酸酯-聚六亚甲基碳酸酯二醇对环氧树脂进行了增韧,通过扫描隧道显微镜,扫描电子显微镜,差示扫描量热分析以及动态力学性能分析等方法研究了增韧EP的结构与性能的关系。 相似文献
973.
974.
采用X射线衍射分析技术,研究了脉冲化学镀非晶态Ni-P合金的原子分布和函数,得出其短程有序原子集团的尺度为0.754nm,约为熔体激冷法获得的非晶态Ni-P合金短程有序畴的1/2。并利用脉冲化学沉积非晶态合金的微机制择这一结果进行了解释。 相似文献
975.
The bit error rate (BER) analysis of a direct-sequence code-division multiple-access (DS-CDMA) cellular system over a Rayleigh-fading channel often results in complicated expressions even though the Gaussian approximation is applied. A combined probability density function (pdf) approach for the forward link and a mean-method technique for the reverse link are proposed to significantly reduce the computational complexity. The simplified BER expressions are derived and yield accurate results 相似文献
976.
Textural evolution in electrodeposits is strongly affected by foreign species in the electrolyte and also by the co-deposition
of hydrogen. The effects of foreign species on textural development in electrodeposits were studied by employing a Monte Carlo
model. This model is based on physical principles and incorporates parameters which are used to control electrodeposition
processes. An attempt was made in the simulation to reflect the basic process of the deposit growth, and to identify the factors
responsible for the texture formation and its variation with the deposition condition. It is assumed that the texture of the
deposit results from the minimization of the free energy of the system. Based on this assumption, it was demonstrated that
the surface-energy anisotropy played an important role in the formation of fibre texture. In particular, the model can be
used to simulate textural evolution under the influence of adsorbed foreign species, because the surface-energy anisotropy
is modified by the adsorbed foreign species. Part I of the paper presents results of our studies on iron electrodeposition
with the emphasis on the effect of hydrogen adsorption on iron deposit texture. Relevant experimental results have also been
presented to corroborate the simulation study. Part II of the paper presents simulation studies of textural evolution in copper
deposits under the influence of adsorbed potassium and chloride ions.
This revised version was published online in November 2006 with corrections to the Cover Date. 相似文献
977.
非自喷井解释方法一直是困扰试井界的难题之一。自1995年底应用DKS2.0软件中DST压恢分析法先后处理了大港油田200多层实测资料以来,发现一部分井与常规分析法的处理结果完全不同。这些井多出现在均质无限大油藏,且其压力及压力导数曲线开口小、导数曲线驼峰较小。通过对DST压恢分析法在大港油田应用情况的分析,认为此方法适用于均质非自喷井,尤其是处理低渗且地层受污染井的结果比较符合地层的实际地质情况,其成果的应用对地层改造有一定的指导作用。 相似文献
978.
本文通过有关理论依据和试验数据,着重阐述了在显像(示)管测试中,阴极像中心黑洞状缺陷产生的原因以及消除这种缺陷的处理方法。通过这种处理方法处理过的显像(示)管,其整体质量水平(尤其是真空度)将会得到明显的提高。 相似文献
979.
概述了高压放大器的基本组成,以及采用高压稳压电源措施,提高高压放大器的性能,并简述了高压放大器输出级的工作原理,给出了过渡保护方法。 相似文献
980.
动态波前相位的高分辨率测量 总被引:4,自引:0,他引:4
动态波前相位信息测量是大气光学,气动光学和激光技术等领域的重要实验手段。提出了一种具有高的时间和空间分辨率以及长的测量持续时间的动态波前相位测量方法。应用Hartmann-Shack波前传感器获得高空间分辨率的相位信息,采用高帧频CCD摄象机获得高时间分辨率图象数据。 相似文献