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Micromachined jets for liquid impingement cooling of VLSI chips 总被引:2,自引:0,他引:2
Wang E.N. Lian Zhang Linan Jiang Jae-Mo Koo Maveety J.G. Sanchez E.A. Goodson K.E. Kenny T.W. 《Journal of microelectromechanical systems》2004,13(5):833-842
Two-phase microjet impingement cooling is a potential solution for removing heat from high-power VLSI chips. Arrays of microjets promise to achieve more uniform chip temperatures and very high heat transfer coefficients. This paper presents the design and fabrication of single-jets and multijet arrays with circular orifice diameters ranging from 40 to 76 /spl mu/m, as well as integrated heater and temperature sensor test devices. The performance of the microjet heat sinks is studied using the integrated heater device as well as an industry standard 1 cm/sup 2/ thermal test chip. For single-phase, the silicon temperature distribution data are consistent with a model accounting for silicon conduction and fluid advection using convection coefficients in the range from 0.072 to 4.4 W/cm/sup 2/K. For two-phase, the experimental results show a heat removal of up to 90 W on a 1 cm/sup 2/ heated area using a four-jet array with 76 /spl mu/m diameter orifices at a flowrate of 8 ml/min with a temperature rise of 100/spl deg/C. The data indicate convection coefficients are not significantly different from coefficients for pool boiling, which motivates future work on optimizing flowrates and flow regimes. These microjet heat sinks are intended for eventual integration into a closed-loop electroosmotically pumped cooling system. 相似文献
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以醋酸铅和碳酸钠为原料 ,选择优化的工艺条件 ,用化学沉淀法制备分散性良好的碳酸铅纳米粉体。XRD和TEM分析表明 ,纳米碳酸铅属斜方晶系 ,其颗粒呈球形 ,粒度分布均匀 ,为5 0nm左右。 相似文献
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NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体.测试了SEAS公司的NEG组件ST707WP 1250对由80%H2和20%CO组成的混合气体的抽气性能,并和抽纯气性能进行了比较.混合气体中的NEG对H2的抽速受CO影响,随H2吸气量的增加而明显下降.混合气体中的NEG对CO的抽速不受H2影响.研究结果为SSRF储存环真空系统设计提供了重要依据. 相似文献
1000.
非稳态工况下组合式空调机组性能的数值模拟 总被引:1,自引:0,他引:1
目前对组合式空调机组性能的研究多为稳态运行工况下机组性能的实验研究,研究具有单一性;另一方面,目前对机组在非稳态运行工况下性能的研究比较少.本文采用数值模拟的方法,较为详细的分析了从开机运行到最终稳定过程中机组的性能参数变化情况,得到一些可用来指导空调机组运行调节的参考数据和研究方法. 相似文献