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采用自行研制的LB自动提膜装置,制备出大面积(10×8cm2)、高质量的PMMA超薄抗蚀剂膜,并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光,湿法蚀刻,制作了分辨率优于0.5μm,特征线宽0.38μm的4(100mm)铬掩模版。 相似文献
94.
冷英男 《辽宁石油化工大学学报》1994,(3)
提出了一个简单的理论模型.旨在为数据处理系统的性能评价提出一个理论框架.以此框架为基础,可形成实用的简单评估方法.该模型只含两个参数,它们是统计量,可用统计方法确定. 相似文献
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本文运用根轨迹法,分析了感应电动机转速对定子电流暂态过程的影响。并通过对稳态时定子电流在电压阶跃干扰下的暂太响应分析,验证了结论有效性。 相似文献
97.
对埕岛油田卫星平台多年来一直存在的金属软管漏蚀问题进行分析,找出了导致金属软管漏蚀的主要原因,提出了相应的防治措施,主要有:在金属软管外部裹附橡胶垫,采用带弯头的减振金属软管,安装时金属软管的曲率半径要大于其最小弯曲半径等。通过采取一系列措施,解决了金属软管的漏蚀问题,达到了预期的效果。 相似文献
98.
Conventional drying, dehumidification drying, and combined conventional-dehumidification drying of wood were experimentally studied in this article. The results showed that the energy consumption in the dehumidification drying is the least but its drying time is the longest. The energy consumption in the combined drying is more than that in the dehumidification drying but less than that in the conventional drying, and the drying time is half of that in the dehumidification drying. The advantages of the combined conventional and dehumidification drying are discussed from the experiments results. 相似文献
99.
100.
三峡蓄水初期水库近坝区水环境特性分析 总被引:3,自引:0,他引:3
通过现场观测和数值模拟的方法,对三峡水库近坝区在蓄水初期的水流和水环境特性进行了
分析。对蓄水初期的溶解氧、BOD、COD和NH3-N、Cu等水质参数进行了观测,将蓄水初期水质资料与蓄水之前的结果进行了对比,分析了近坝区水环境变化趋势。采用大涡模拟紊流模型,考虑水体表面的热交换,对三峡近坝区的流动和水温分布特性进行了模拟。研究结果表明,三峡水库蓄水初期近坝区水流特性明显改变,主要表现为水深增加、流速变缓,部分地段有回流区出现。水质指标变化不明显,坝前断面溶解氧浓度、悬浮物浓度有所降低,和悬浮物密切相关的污染物总磷、重金属也随之降低;蓄水初期139m水位时坝前水域尚没有出现温度分层现象。 相似文献