Systematic characterization of Cl2 reactive ion etchingfor improved ohmics in AlGaN/GaN HEMTs

Pre-metal-deposition reactive ion etching (RIE) was performed on an Al_0.3Ga_0.7N/AlN/GaN heterostructure in order to improve the metal-to-semiconductor contact resistance. An optimum AlGaN thickness for minimizing contact resistance was determined. An initial decrease in contact resistance with etching time was explained in terms of removal of an oxide surface layer and/or by an increase in tunnelling current with the decrease of the AlGaN thickness. The presence of a dissimilar surface layer was confirmed by an initial nonuniform etch depth rate. An increase in contact resistance for deeper etches was experienced. The increase was related to depletion of the two-dimensional (2-D) electron gas (2-DEG) under the ohmics. Etch depths were measured by atomic force microscopy (AFM). The contact resistance decreased from about 0.45 Ωmm for unetched ohmics to a minimum of 0.27 Ωmm for 70 Å etched ohmics. The initial thickness of the AlGaN layer was 250 Å. The decrease in contact resistance, without excessive complications on device processing, supports RIE etching as a viable solution to improve ohmic contact resistance in AlGaN/GaN HEMTs     

高质量ZnO薄膜的退火性质研究

在LP－MOCVD中，我们利用Zn(C2H5)2作Zn源，CO2作氧源，在（0002）蓝宝石衬底上成功制备出皮c轴取向高度一致的ZnO薄膜，并对其进行500℃-800℃四个不同温度的退火。利用XRD、吸收谱、光致发光谱和AFM等手段研究了退火对ZnO晶体质量和光学性质的影响。退火后，（0002）ZnO的XRD衍射峰强度显著增强，c轴晶格常数变小，同时（0002）ZnOX射红衍射峰半高宽不断减小表明晶粒逐渐增大，这与AFM观察结果较一致。由透射谱拟合得到的光学带隙退火后变小，PL谱的带边发射则加强，并出现红移，蓝带发光被有效抑制，表明ZnO薄膜的质量得到提高。     

标识化语言的发展及在电子物流中的应用

重点阐述了XML技术的发展和对EDI技术的有效补充与改进，并展望基于XML技术的电子商务物流数据交换技术的发展前景。     

中条山供水工程取水首部电气设计的特点

对70m落差下大型泵站供电设计中电缆的受发热这两个难点进行了论述，并通过应用特种电缆和工程塑料解决了这些难题，使泵站的设计能够较好地满足安全、便利运行的要求，为地质条件较为复杂的情况下设计泵站提供了一个比较理想的模式。     

Bandpass filters using periodically loaded combline resonators

A novel combline filter is proposed for cellular‐radio base stations. The Q‐factor is significantly improved. The eigenvalue equation is expressed with the single‐team approximation in the gap region of the combline resonator. A two‐pole combline filter is designed. The calculation, simulation, and experiment results are presented and are in good agreement. © 2005 Wiley Periodicals, Inc. Int J RF and Microwave CAE, 2006.     

企业培训中心的六个主要特征

提出企业培训中心的本质特征,并以此为基点阐述企业培训中心的六个主要特征;通过对企业培训中心的使命、培训对象的确定、培养目标、培训内容、组织设置、组织发展的分析,力求揭示企业培训中心组织构建和发展的自身规律。     

减压渣油与FCC油浆共炭化的化学组成变化

考察了齐鲁石化胜利炼油厂催化油浆（FCC）和胜利减压渣油（VR）在490℃，0.8MPa下不同混合比的原料和不同反应时间的中间产物的HS、TS、PS、P及其1h中间产物的HS和TS的^1H-NMR。数据结果反映了体系的反应速度。掺入FCC油浆抑制了VR的反应活性，降低了体系的反应速度，增加了基质的溶解度；1h中间产物的组成结构更接近于原料及反应体系的反应性和基质的溶解度；1h中间产物的芳香度越高，取代基越少，侧链越短，基质对VR中的活性反应组分在炭化早期生成的高度缩合物质的溶解度越大。     

平面近场测试系统在天线测试和诊断中的应用

介绍了天线近场测量的基本原理和HD-1型平面近场测试系统,并对近场测量在实际天线测试中的应用情况、发展方向和应用前景等作了简单的描述。     

FCC原料掺入裂解焦油的研究及其机理分析

在催化裂化固定流化床小试装置上，对裂化原料中掺入富含芳烃的添加剂－裂解焦油进行了考察，确定了添加剂的最佳掺入量为1％，与不掺添加剂的裂化原料相比，其汽油产率提高，生焦量和干气产率减少，汽油选择性变好。同时通过对添加剂的原料体系的结构研究，对添加剂影响催化裂化过程的机理进行了探讨。     

入侵检测及网络层安全的研究

随着计算机网络的迅速发展，网络安全问题正变得日益重要。文章介绍了计算机网络系统IP层安全概况和入侵者对IP层常采用的入侵手段，以及为防止这种入侵所采取的措施。