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Michael Brain Bruce Liao 《集成电路应用》2007,(9):63-64
从1965年采用38毫米晶圆开始,如今半导体工业已经实现了300毫米晶圆的量产。图1展示了这种转变是如何以跨越式的脚步实现的。每一种更大尺寸的晶圆都需要采用更多的自动化生产措施,每步自动工艺还可以通过提高产率和设备的使用效率给晶圆厂带来更好的经济效益。 相似文献
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Characterization of the Ultrathin HfO2 and Hf-Silicate Films Grown by Atomic Layer Deposition 总被引:1,自引:0,他引:1
Tze Chiang Chen Cheng-Yi Peng Chih-Hung Tseng Ming-Han Liao Mei-Hsin Chen Chih-I Wu Ming-Yau Chern Pei-Jer Tzeng Chee Wee Liu 《Electron Devices, IEEE Transactions on》2007,54(4):759-766
The physical properties of HfO2 and Hf-silicate layers grown by the atomic layer chemical vapor deposition are characterized as a function of the Hf concentration and the annealing temperature. The peaks of Fourier transform infrared spectra at 960, 900, and 820 cm-1 originate from Hf-O-Si chemical bonds, revealing that a Hf-silicate interfacial layer began to form at the HfO2/SiO 2 interface after post deposition annealing process at 600 degC for 1 min. Moreover, the intensity of the peak at 750 cm-1 can indicate the degree of crystallization of HfO2. The formed Hf-silicate layer between HfO2 and SiO2 is also confirmed by X-ray photoelectron spectroscopy 相似文献
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硫化物光纤及其功能器件的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
本文概述了90年代初兴起的硫化物光纤的独特性能、目前的发展状况及可能的应用前景;针对硫化物光纤实用化中的关键技术进行了分析,并对硫化纤的光敏机理作了一定的探讨。由于具有优于石英光纤的特点,硫化物光纤及其人器件具有广阔的应用前景。 相似文献
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本文提供了在 ARMS3C2410芯片上基于嵌入式 Web 服务器的网络视频监控的一种解决方案。在压缩方面采用了以 WIS G700SB 为核心的 MPEG-4采集压缩模块。先叙述总体设计思想,然后分软件和硬件两部分进行详细探讨。 相似文献
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Mei‐Yi Liao Cheng‐Ham Wu Ping‐Shan Lai Jiashing Yu Hong‐Ping Lin Tzu‐Ming Liu Chih‐Chia Huang 《Advanced functional materials》2013,23(16):2044-2051
The development of fluorescent iron oxide nanomaterials is highly desired for multimodal molecular imaging. Instead of incorporating fluorescent dyes on the surface of iron oxides, a ligand‐assisted synthesis approach is developed to allow near‐infrared (NIR) fluorescence in Fe3O4 nanostructures. Using a trimesic acid (TMA)/citrate‐mediated synthesis, fabricated Fe3O4 nanostructures can generate a NIR two‐photon florescence (TPF) peak around 700 nm under the excitation by a 1230‐nm femtosecond laser. By tailoring the absorption of Fe3O4 nanostructures toward NIR band, the NIR‐TPF efficiency can be greatly increased. Through internal etching, surface peeling, and ligand replacement, spectroscopic results validated that such resonantly enhanced NIR‐TPF is mediated by surface states with strong NIR‐IR absorption. This TPF signal evolution can be generalized to other iron oxide nanomaterials like magnetite nanoparticles and α‐Fe2O3 nanoplates. Using the developed fluorescent Fe3O4 nanostructures, it is demonstrated that their TPF and third harmonic generation (THG) contrast in the nonlinear optical microscopy of live cells. It is anticipated that the synthesized NIR photofunctional Fe3O4 will serve as a versatile platform for dual‐modality magnetic resonance imaging (MRI) as well as a magnet‐guided theranostic agent. 相似文献