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171.
LIGA工艺的发展及应用 总被引:5,自引:1,他引:4
介绍了LIGA(lithographie,galvanoformungandabformung)技术以及在此基础上开发出来的准LIGA(like-LIGA)技术、SLIGA(sacrificialLIGA)、M2LIGA(movingmaskLIGA)技术和抗蚀剂回流LIGA(PRLIGA———photoresistreflowLIGA)技术等。利用这一系列LIGA技术,可以生成具有高深宽比的复杂微结构,如微尖阵列、球形曲面、活动部件等,能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出了目前这些方法存在的缺陷。 相似文献
172.
173.
一、前言德国作为全球几大工业国之一,是世界上有名的机械电子设备出口国。这些年来大量的德国大型设备和生产线成套设备漂洋过海出口到了中国,这些设备涉及到汽车、石油、化工、钢铁、机械、电子等行业。怎样保证这些大型设备和成套设备安全抵达中国或其它国家用户所在地,是摆在德国有关生产企业与运输包装企业面前的重要课题。本文结合作者在德国汉堡出口包装有限责任公司——塞库瑞塔斯公司(Securitas)看到的情况,介绍一下有关德国大型设备出口包装的方法。 相似文献
174.
非接触型光外差轮廓仪 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍一种纳米级非接触型高精度光外差轮廓仪,它是基于普通光路的光外差干涉仪。工件表面被两束有微小频差的激光束所照射,其中一束经聚焦后用作测量光探针来扫描工件表面,另一束则用作参考光束。两束光经表面反射后产生干涉。测量信号和参考信号的相位差与表面的微不平值成正比。仪器的横向分辨率为2μm,高度分辨率为1 nm,它不需要对试样作大范围的调整,且可用试样自身作参考面。信号经光电转换后由微型计算机进行处理,它能快速完成测量、计算、显示及打印出各种参数和曲线。 相似文献
175.
176.
La-OMS-2催化剂催化甲苯氧化制苯甲醛 总被引:1,自引:0,他引:1
合成了氧化锰八面体(OMS-2)分子筛,采用离子交换法和浸渍法制备了稀土金属La改性的OMS-2分子筛(La-OMS-2)催化剂,并用于甲苯液相选择性氧化制苯甲醛,考察了催化剂用量、反应温度、反应时间、氧气流量及溶剂种类对甲苯转化率和苯甲醛选择性的影响,对La-OMS-2催化剂进行了X射线衍射表征和BET比表面积测定。实验结果表明,离子交换法制备的La-OMS-2-A催化剂的活性高于浸渍法制备的La-OMS-2-B催化剂,在甲苯0.1mol、溶剂冰乙酸10mL、氧气流量60mL/min、La-OMS-2-A催化剂用量0.10g、反应温度353K、反应时间1.0h的条件下,甲苯转化率达61%,苯甲醛收率为56%。加入La对OMS-2分子筛中的MnO晶格结构产生了影响,提高了苯甲醛的收率。 相似文献
177.
178.
结合西气东输管道工程燃气轮机驱动压缩机组设备订货及验收中对性能试验项目的确定、工厂试验及见证过程,介绍了燃压机组性能试验项目所涉及的主要内容、执行标准、需要达到的技术指标,各种性能试验的基本情况,买方参加工厂试验见证中需要重点处理好的问题等。以期为我国其他大型长输天然气管道机组订货及试验见证工作提供借鉴。 相似文献
179.
对于采用三相不控整流桥作为前级的变换器,自然条件下其输入电流波形系数不高,使得输入功率因数委低,降低了电源的利用率。为此需要采用功率因数提高技术,其中无源PFC是一类重要的功率因数校正技术,在某些场合非常具有应用价值。本文介绍了几种三相无源AC-DC变换器的高功率因数方案,如采用LC滤波器、移相电抗器,谐振电抗器,移相变压器,相间变压器,相间电抗器等,在进行简单的工作原理描述后,给出了部分方案的MATLAB/SIMULINK仿真结果。 相似文献
180.
塔巴庙区块气藏属于低压、低渗气藏,储集层物性差异大、含气级别高,但含气非均质性强,录井解释评价困难。针对这一问题,开展了综合判断储集层物性和含气性方面的研究,分别探讨了钻时与全烃、钻井液性能与全烃、钻井液粘度与全烃、气测显示与测井参数和烃组分与气显示之间的关系,分析了其相关性及其在塔巴庙区块气层解释评价中的意义及作用。通过相关性研究,不但摸索出定性解释评价气层的方法,同时为今后深入研究录井相关参数关系,探索其内在规律,为实现准确解释评价储集层奠定了基础。 相似文献